中国就快生产出EUV光刻机了吗？冷静！

加星标，才能不错过每日推送！方法见文末动图 2021年2月，清华大学的唐传祥教授团队与德国科学家合作在《自然》上发表了一篇论文，报告了他们对基于被称为SSMB原理产生极深紫外光源的理论完成了一定的实验验证。但时隔两年后的今天，这一工作突然被 …