中国有可能研发出成熟的光刻机吗？如果能，要多久？

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知乎用户 5287 发表

更新一下。

原题问的是光刻机的突破，但大家都更关心的是是更大的议题。正好今天看到一个视屏，是 CCTV 财经对话节目，里面有专业人士谈这个问题。希望大家感兴趣，推荐大家去看完整版的，2021327。

专业人士谈芯片，财经《对话》

以下为原答案

外网 quora 有类似的问题，让我们来看看外国人的观点。该回答目前排第一，9600 阅读，308 点赞。

quora 问题：“美国正在向荷兰施压，阻止荷兰 ASML 公司向中芯国际出售 EUV 设备，这最终影响了中国的技术梦想。”。美国能抵制中国的发展多久？

“United States is pressuring the Netherlands to block the sale of EUV equipment to SMIC by Dutch company ASML is ultimately affecting China’s dream in technology”. How long US can resist China’s development?

以下为全文翻译：

我想我是回答这个问题的最佳人选。我在半导体行业工作多年，目前居住在荷兰，在中国生活和工作了 3 年，我认识很多来自 ASML 的工程师（特别是在他们雇佣了数百名土耳其工程师之后）。让我告诉你一件事：高端半导体制造业是黑魔法。它所使用的过程和工具都非常复杂。ASML 的 EUV 光刻机可能是人类开发的最复杂的工具。它花了数十亿欧元和数十年的经验来完善它。其他有经验的光刻机供应商也失败了。中国在高端半导体制造工具方面没有经验，只有一次性 / 少量的原型。

ASML 的 EUV 光刻机。需要 41 辆半卡车运输，成本 1.5 亿美元，有 10 万个主要部件，有镜子需要数月的打磨才能达到所需的平滑度，需要多名博士作为机器操作员。相当高科技，不是吗？

不幸的是，ASML 是美国一个非常方便的目标。该公司使用了大量来自美国的关键部件，但这些部件在美国经济中的货币价值并不代表任何重大意义。中国电子工业仍然依赖外国芯片，因此不能以禁止在中国销售使用 ASML 工具生产的芯片来威胁晶圆厂。此外，中国也不是 ASML 的大客户。

中国没有希望了吗？不。

1. 所有这些工具都是由人类设计和制造的，物理定律在荷兰和中国都是一样的。如果荷兰能够做到，那么其他任何国家都没有理由以正确的方式失败。

2 - 中国比荷兰富裕得多。中国经济是荷兰的 17 倍，韩国的 9 倍，中国台湾的 27 倍，日本的 3+x。在国家的支持下，中国的工厂和工具制造商可以用 ASML、LamResearch、AM、Synopsys、TSMC、三星…… 根本无法与之竞争的薪水从世界其他地方雇佣顶尖人才。不管怎么说，这些公司的员工中有相当一部分是外派人员，他们中的大多数都是为了钱。事实上，中国在这方面已经取得了很好的成绩。例如，它已经有了一台正在工作的 EUV 光刻机原型机，在芯片测试、封装、晶圆生产等方面已经赶上了其他的原型机，而且它的第一台浸没式光刻机（对大多数事情来说已经足够好了）正准备投入商业使用。

3. 中国是一个独立的科学强国。它是世界上专利申请最多、研究成果最多、毕业生人数最多的国家，是世界第二大研发支出国，有 11 所大学进入百强。这就引出我的第一点。如果荷兰可以，如果给足够的时间，中国也可以。

4. 追赶比创新容易得多。知道某件事是可能的，并且对它的工作原理有一个大致的了解，使事情变得更容易。

5. 时间在中国这边。半导体技术已经接近成熟 / 停滞（根据你的观点选择这个词）。如果发展放缓（确实如此），中国就有机会迎头赶上。如果一场科技革命发生了，那么不管怎样，竞争环境都会趋于平衡。

6 - 大多数情况下你不需要 EUV。大多数事情甚至不需要高端流程。半导体不仅仅是最新的智能手机处理器、gpu 和 cpu。看看 iphone12 的拆卸视频。你会看到很多芯片。只有一个需要 EUV。一辆普通的现代汽车里面有 250 多台电脑。那意味着成千上万的芯片。它们都是用老工艺制造的。军事和空间应用更是如此。它们使用的是非常古老的芯片，众所周知，这些芯片是可靠和安全的。

结论：阻止 ASML 向中国销售 EUV 机器可能会在一段时间内损害中国企业，但在大计划中，这是微不足道的。美国要想保持在科技领域的主导地位，就必须加快步伐，而不是继续试图阻止中国。

以下是原文全文：

I think I am the perfect person to answer this. I have been working in the semiconductor industry for years, currently living in the Netherlands, lived and worked in China for 3 years, I know a lot of engineers from ASML (expecially after they hired hundreds of Turkish engineers). Let me tell you something: High-end semiconductor manufacturing is black magic. Both the processes and tools used for it are very complex. ASML’s EUV lithography machine is probably the most complex tool humankind ever developed since it stopped jumping between trees. It took billions of Euros and decades of experience to perfect it. Other experienced lithography machine suppliers failed at it. China has no experience in high-end semiconductor manufacturing tools with the exception of one-off/few-off prototypes.

ASML’s EUV lithography machine. Needs 41 semi-trucks to get transported, costs $150 million, has 100.000 major parts, has mirrors that need months of grinding to reach needed smoothness, needs multiple people with PhD’s as machine operators. Quite high-tech. Isn’t it?

Unfortunately, ASML is a very convenient target for the USA. The company uses a lot of critical parts from the USA but those parts don’t represent anything significant in the US economy in terms of their monetary value. Chinese electronics industry still depends on foreign chips so it can not threaten fabs with banning the sale of chips in China that were manufactured using ASML tools. Also, China isn’t a big customer of ASML too.

Is China hopeless? No.

1- All of those tools are engineered and made by humans, and the laws of physics are the same both in the Netherlands and China. If the Netherlands could, then there is no reason for anybody else to fail with the correct approach.

2- China is filthy rich compared to the Netherlands. Chinese economy is 17x of the Netherlands’, 9x of SK’s, 27x of Taiwan’s, 3+x of Japan’s. With state support, Chinese fabs and tool makers can hire the top people from the rest of the world with salaries ASML, LamResearch, AM, Synopsys, TSMC, Samsung, … simply can not compete with. A significant portion of these companies’ employees are expats anyway, most of them are just after money. In fact China is already doing this successfully with good results. For example, it already has a working EUV lithography machine prototype, already caught up with the rest in chip testing, packaging, wafer production, also its first immersion lithography machine (good enough for most things) is getting prepared for commercial use.

3- China is a scientific powerhouse on its own. It is the country with most patent applications, most research output, graduates more STEM students than any other country, 2nd largest R&D spender, has 11 universities in top 100. This leads us to my first point. If the Netherlands could, so can China if given enough time.

4- Catching up is much easier than innovating. Knowing something is possible and having a general knowledge of how it works make things much easier.

5- Time is on the Chinese side. Technology of semiconductors is close to maturity/stalling (choose the word depending on your view). If the development slows (which it does) it gives China the opportunity to catch-up. If a tech revolution happens, then the playing field evens out anyway.

6- You don’t need EUV for the most things. You don’t even need high-end processes for the most things. There is more to semiconductors than the latest smartphone processors, GPUs, and CPUs. Look at iPhone 12 teardown videos. You will see a lot of chips. Only one of them needs EUV. An average modern car has 250+ computers inside. That means thousands of chips. All of them are manufactured using old processes. This is even more true for military and space applications. Those use very old chips that are known to be reliable and secure.

Conclusion: Blocking ASML from selling EUV machines to China can hurt Chinese businesses for some time but in the grand scheme it is insignificant. The USA needs to run faster rather than keep trying to block China if it wants to preserve its dominance in tech.

知乎用户 毕宾 发表

6 月 17 日再更，副总理出面了，国家队来了。

5 月 6 日更新，我一个徒弟（说起来惭愧，他去华为前，我带过他 1 个月，他一直叫我师父，但是真的没教什么东西），现在是华为总部的，5.1 前我们一起吃了个饭，席间我聊到光刻机的问题了。

目前的情况是，中芯国际是可以造 7nm 的芯片的，但是距离可以商用大约还有 2 年的时间，华为贴了大量的钱和工程师在中芯国际做支撑。

2 年，或许就是华为的心里预期。

但是华为的策略是造车，车载芯片无需考虑功耗，28nm，50nm 还是 110nm 都没问题，卡不住脖子。

回复下评论，我们什么都自己造当然有被逼的成分，但是也不是一定不用外国的技术和产品，就像任正非说的，我们手里有，但是我们还可以用你的，谁便宜，好用用谁的。但是如果我们手里没有，恐怕就是现在这样，第一，人家不让你用，其次，让你用也会非常贵。

做为一个通信行业的从业者，我上大学的时候是 99 年，那时候中国的通信设备几乎是国外的天下，思科，高通是神一般的存在，那年苹果正是没落的时候，微软 windows98 横扫天下，你告诉我苹果后来能超过微软，我死活也不信。

短短不到 10 年，我参与了 3g 网络的建设，我亲眼见到爱立信诺基亚北电摩托被一步步被积压，甚至倒闭，我感触最深的是爱立信工程师前一秒正在开会，后一秒就接到辞退的电话，然后，坚持开完会就哭了。。。

所以，这么多年，我对于所谓制造业神话，一点也不迷信。一般来说，做为后进国家追赶先进技术总结下来就是 1 个坚信，3 个条件。

3 个条件：人才，资金和时间

1。人才是研究和突破的关键，我们通信行业能这么大的发展，和每年 400 万毕业的工科大学生有很大的关系，现在大到飞机大炮，小到芯片电池都有很多人才人才储备，这些人才储备保证了我们总会有一两个大师天才带领我们取得突破。

2、资金是必须的，大量的研发投入，大量的产业链扶持都是需要钱的。以前我们鼓励花小钱办大事，其实就是穷，也是违背客观规律的，现在讲究只要事办好了，钱都是小事，追赶阶段，花 150% 的钱，达到别人 100% 的性能就是胜利。因为技术领先有很大的红利，只要能追上，就能吃到红利，追不上，就只能吃渣子。无论是国家产业扶持还是风险资金，只要你能搞出来，总会有人投钱的。另外，资金相关的还有市场，没有市场的技术是没有生命力的，中国在资金和市场上应该是全世界最好的几个国家之一了。

3、时间，那么剩下的就是时间了，毕竟科研需要试错，需要基础产业的成熟。很多产业都是倒在了时间上面了。如果国家决心大，能有足够耐心，我想，肯定是能搞出来的，但是就怕华为坚持不到了。

最后就是一个坚信，一定要坚信自己能搞出来，科学技术最怕的就是没有信心，自己放弃的比比皆是。像马斯克这种坚信自己能成功，无论外面怎么说都堵上身价搞的人毕竟是少数。所以，我们自己不要觉得中国差距这么大，没戏了，从通信产业看，只要你肯去努力，突破可能比你想象的要快得多。我虽然不是搞芯片的，但是我相信芯片行业一定也是一样的规律。

再补充一个外部条件吧，做为一个通信和计算机产业从业者，可以说，2G 网络以后，就很难有让我觉得革命性的技术了，现在看 CDMA 的协议仍然觉得真的是人类的杰作，最近再看 5G，感觉就是一个打了补丁的艺术品，虽然都是最新技术的堆积，但是总觉得就是堆砌，说白话就是挤牙膏，速度不够大带宽上，时延不够集成上，覆盖不好天线上。芯片产业也一样，由于芯片产业再往前走除非有碳基这种革命性的成果，否则就是一点点挤牙膏，而且成本越来越大，连英特尔都不敢轻易冒险，所以整个行业虽然进步，但是摩尔定律现在基本上认为已经走到头了。

反过来，这种行业停滞的情况，对于追赶者是很有机会的。

所以回归下主题，能研发出么，我觉得是必须研发出，除非一辈子看人家脸色，吃人家剩下的。要多久？多久都要搞，多大代价都要付出，早搞晚搞都要搞，否则现在失去的是华为，将来失去的所有中国人爬向产业链顶层的希望。

前几天看了一个王选院士的介绍，很感慨，当时搞出电脑汉字照排的时候，也是经历了，国外真香 - 国家补贴 - 逼着经济日报等媒体必须用 - 国产性价比高 - 国产真香，到第三代产品的时候，国外的照排技术就被挤出国内市场了，由于价格只有国外的好像几分之一，省了很多外汇，远远超过当初的投入。希望国家能拿出当年支持王选的精神一样支持国产。

知乎用户 鼎天立地 发表

1850 年的大英帝国自己也无法种植茶叶、烧制瓷器以及生产大量羊毛原料，尽管这三者都是英国人的必需品。

但是他们不在乎。英国贵族也从来不会问景德镇青花瓷生产工艺有哪些步骤，他们只要知道怎么用六分仪驾驶三桅战船操炮让中国人听话就行了。

中国制造固然重要，但是我们逐渐发现，有些领域我们没有必要去死磕。

制造更多的航母比做出光刻机要很容易；直接收复台湾，比造出一个台积电也要容易；保证马六甲海峡的航路畅通比自己开采石油更容易；组建东亚三国联盟，比自己做工业机器人、精密仪器赶超德日要更容易。

美国也造不出光刻机，但是荷兰敢不卖给他吗？

这个世界本来就是分工的，我们要做的就是扬长避短，让别人愿意跟我们合作。

知乎用户 一水遮夏 发表

这是 2019 年全球半导体产业链价值分布概览。设备制造（光刻机光刻胶等）中国大陆的份额只有 2%，其他地区中包括欧洲，日本，韩国，中国台湾占到了 51%，美国占到 47%。

我们再来看设备制造中具体有哪些公司。中国只有中微半导体和北方华创还算可以，但这两家公司不是造光刻机的。

荷兰在半导体设备制造方面是真的强，ASML 吃掉了全世界光刻机市场的 95%，佳能和尼康一般也不外卖。

日本美国则是在半导体材料方面极强，ULvac，Applied Research，Lam Research 都是大佬级别的公司。前段时间中芯国际还向 Lam Research 采购了大批的物资用于芯片制造呢。

说回到中国光刻机，只有上海微电子一家在做，目前造出了能制造 28nm 制程芯片的 duv 光刻机，有潜力做到 7nm 制程，但需要其他领域的配合。

EUV 的机器长春在做，是基于哈工大 DPP-EUV 的光源。

光刻机其实和原子弹有一点相似，就是技术路线和原理是明确可知的，不同的是实现方式。

光刻机当然还面临着专利的问题，比原子弹多了一些弯弯绕绕。

中国必然能做出成熟的光刻机，时间也许不会太久。但除了光刻机，还有其他半导体材料需要突破，任重而道远啊

知乎用户 Eidosper 发表

ssa800 估计很快就能做出来第一台了，也许年后就能见到了。duv 浸润式的主要技术都攻克了，光源 透镜 双工台都有了。

euv 还在 ppt 上，早的很。而且反射镜系统暂时还不清楚能不能做，毕竟就连 p40pro + 那个 9x 长焦都要几十 nm 的精度，还翻车了。所以 euv 的光源和透镜都非常有挑战性，双工台的精度也需要更高。

光刻机只是设备中最难的那个，但不是全部。离子注入机有，达到了日本人百分之一的能量强度的样子；刻蚀机这个好像比较领先；各种 cvd 并不清楚有没有；测试芯片的也不清楚进展如何，估计这个可以做；各类清洗 研磨和检测的机器也是大坑。

原材料这边光刻胶大硅片还有各种奇怪的东西不清楚有没有，也都是大坑。

工艺也是大坑，比如离子注入注入多久？各方面都有 tradeoff。

看看 smic 拿美国设备做的 14nm 截面，麒麟 710a

看看三星做的截面，貌似 7420。

虽然细节完全不懂，但是看这形状规则程度…

任重道远，没有办法。东西还得做。

知乎用户 诗与星空​​ 发表

1、时间点，2025。

出处：2015 年 5 月国务院印发的《中国制造 2025》，制图见水印。

2、关键技术突破，02 专项。

02 专项即：《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》项目，因次序排在国家重大专项所列 16 个重大专项第二位，在行业内被称为 “02 专项”。

3、已验收项目。

EUV 极紫外光源（中科院长春光机所）、EUV 光刻胶（中国科学院化学研究所、中国科学院理化技术研究所、北京科华微电子材料有限公司联合承担）、高 NA 浸没光学系统（长春国科精密光学）、光刻机双工件台系统（清华大学、华卓精科）、区熔硅单晶片产业化技术（中环股份）… …

你可以说他们在骗经费，EUV 能干什么，反正我也不是很懂。

知乎用户 锦衣夜行​ 发表

经验主义一把，也给楼主看看。我是 99 年高考，进了某 985，选了电子信息工程专业。当时刚刚过去的 58 事件还让人记忆犹新（当年在美国领事馆门口声嘶力竭，今天在那里谈笑风生，简直就是两个时代），后来学微波技术的时候，我老师就跟我们说，国家在强力推进隐形和反隐形技术的研发，小道消息说国家认为只要研制出来，多少钱都给。当时美国的 F22 如日中天，世界上完全没有第二家，我们连三代机都不多，刚入门而已。就这么一个差距，结果 10 来年后，歼 20 一飞冲天，这意味着我们周围一圈国家花费巨大代价所建立起来的防空系统一夜之间过时。其他领域也有类似的事情，比如燃气轮机，比如移动通信系统，我不知道楼主几岁，但从我自己这 20 年技术阅历来看，我对光刻机还是感觉乐观的。光刻机对我们难，对对手也不见得容易，因为他们前面是物理极限在约束它，从这个角度看，我们有机会。

知乎用户 宏博​ 发表

重点来了。—— 台湾外汇储备 6000 亿美元，基本上都是吸血大陆储备起来的。那是因为早期美国布局世界等级分工，台湾，韩国正好在我们上一级，所以才能利用技术优势当中间商二道贩子狠赚取差价。参考下图 2019 年逆差最大地区和国家:

如图所示，2019 年台湾赚取 1289 亿美元，韩国赚取 985 亿美元。

你看完这图作何感想呢？其实真实情况就是，台湾疯狂且极度变态的反华是门大生意，那就是他们想要永世趴在中国身上吸血那不要太爽！转过镜头看看，台韩二个地区和国家出口大头是芯片（集成电路），然后通过芯片对中国很多产业进行布控和渗透，达到最大利益摄取，俗称 “全球化分工”。例如，一个门禁卡都离不开芯片，出口机电产品大部分也需要芯片，血汗工厂富 x 康等等。——- 他们控制利润最大两头，1. 主要核心配件、芯片、设计、知识产权专利等等海外供应链。2. 海外分销市场。剩下的最苦最累最不赚钱的渣渣汤汤，只让中国做一些底层配件加工和劳动密集型组装，累死你赚个三毛五毛。然后，顺便指挥手下马仔（台湾绿党网络水军）通过网络煽动反华反供舆论，指责并歧视你是奴隶工场，各种无耻幺蛾子满世界飞舞。如果可以贸易战再压榨一票，那更是完成三连杀要开香槟庆贺。这思路绝对是 “亚太再平衡” 最佳效果。所以说，西藏奴隶主为啥那么残暴，那是因为不残暴你们不反了天，吃喝供养都得从他们身上刮油！

那么重点又来了，打压华为芯片制造，还有光刻机禁运为啥美国那么卖力气? 当然，这里面有 5G 原因，但还有中国 2025 制造计划中芯片自给率 70% 的原因，那是动了他们的奶酪。因为美国正好是台韩上一级吸血（内容详情不累赘），但他们不论怎样上下级分配利益，所有的大大小小吸血管道最终都是通往中国劳苦大众头上，当然美国必须是最粗的那根管子，用输油管道吸血来形容都不为过。如：中美贸易谈判附加三条中就要求中国放弃 2025 计划一条，以意图达到永久吸血的目的，更是要刻意人为制造所谓 “中等收入陷阱”，将我们定格在这个位置上！

那么问题来了！老百姓过日子谁知道那么多绕绕湾湾，可上层早就看得明明白白。当然不会让这种情况一直持续下去，多大困难都会坚持下去打破这种无情的压榨，要广大人民过好日子富裕起来，那必须把国家肌体上的大大小小一堆吸血虫给清理掉，才能满血舒展。当国家一万亿的 “国家集成电路投资基金”，国务院印发《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》，及教育部集成电路一级学科设立等横空出世的时候（这动作基本与美帝掀桌子），那就是我们集全身力量挣脱枷锁的一刻。未来的中国，会把韩台转化为我们供应链的普通一员，那么你将会戏剧性的发现他们的凶悍无比的网络喷子们变得像泰迪狗一样乖宝宝，歌颂中国无比激动比我们还要泪流满面。看似永远都前赴后继的公知群体奇迹般消失了。底层人民在血汗电子工厂起薪 3000RMB 变成 3000 刀，他们买得起房，供得起儿女受更好的教育，真正能在城市扎根……

缕清世界吸血地图，你就会发现这个世界哪有什么皿煮滋油主义，根本都是借口。还不是因为中国要干翻趴在头上的那 2 个吸血老财主，然后我们去直面气势汹汹的美国。你就不难理解台 X 岛年轻人在全球网络范围内疯狂且丧失理智的攻击中国人，那是锁链的一环，当然也是最不值钱的一环，他们天真以为推翻 XX 党，阻碍中国进步，他们就可以像回乡团一样保住富贵！

但重点又又来了，台湾不是国家主体，被排除在东盟与中国自贸区之外，且欧美贸易对外都是逆差。两项一加减，台湾经济自然将来不会好。根据以往经验，他们过得越好就越反华，那么反过来会不会效果达到不战而屈人之兵的目的呢？

我非常看好华为这次‘产、学、研’三方参与造光刻机，真的比谁都要靠谱！（内幕不详赘述，有心人可以感受到动态）谁规定了一定要从头开始呀？很多东西可以直接嫁接在原基础上再进一步拓展，更何况人家之前也打破了许多不可能完成的任务！他们是一群当代中国最优秀年轻人，有速度，有激情，有情怀，还有其它团队不可比拟的雄心。一旦这个最关键的局打破，然后全链条接上，配合 5G 大规模商用，江湖上就不再有传说了，因为我们就是最大的传说！

参考视频：https://video.h5.weibo.cn/1034:4531026006048777/4531029388563757

凡战者，以正合，以奇胜！多几家光刻机制造商，刺激一下上海微电子也是有益的，良性竞争！不然，悠哉悠哉，辗转反侧，十年也憋不出一个蛋来。

结束语: 人间正道是沧桑。

知乎用户 医师黄继斌​​ 发表

在看待美国，有两种极端。

一种极端是因为美国在这次抗击新冠疫情中表现不佳，许多底层群众不戴口罩，拒绝隔离，致力于于科学抗疫的福奇和比尔盖茨被攻击，甚至被认为是新冠的 “幕后黑手”，就认为美国衰落了，整体反智了。

当然我们得承认，美国社会中，由于阶层差异过大，群众受教育程度不一，贫民窟有大量的人群接受着水平很低的教育，所以一直有反智的传统，例如有 1/3 的人不相信进化论，有大量的群体热衷于阴谋论，容易被煽动等等。

可是，美国能以仅仅 3.3 亿的人口，就能够在技术上卡其他国家几十亿人口的脖子，这说明美国的主流教育体系，特别是科研体系是非常强大的，是值得学习的。

另一种极端则是畏惧美国的能力。例如现在不是 “传说” 华为要搞一个 “塔山” 计划嘛，核心意思就是要以举国之力打造一个“去美国芯片供应链”。

这个消息一出来，立刻遭遇了大量冷嘲热讽，什么 “光刻机” 是人类智慧的结晶，多国协作才能打造，一个国家绝对打造不出来，什么，中国技术和西方技术差距过远，一百年也赶不上。

这种说法其实也是片面的，诚然 ASML 最先进的 euv 光刻机，确实是整个西方世界鼎力合作的结果。

可是整个西方世界欧洲 7.4 亿人口，美国 3.3 亿人口，加起来也才 10 亿人口左右。

当年的苏联，巅峰时期也只有 2.8 亿人口 。

中国拥有 14 亿人口，并且同文同语言，交流起来其实比国家林立，种群混杂，语言众多的西方世界更容易。

何况中国还是一个开放的国家，若加上对中国友好的一带一路国家，那么就是几十亿人口，如果认真发展教育，中国打造 “去美供应链” 是有现实基础的。

要知道，浸入式 193nm 光刻机是 2002 年提出的，2003 年诞生的，至今也才 17 年左右，而今天的中国上海微电子至少已能生产出 90nm 的光刻机，那么，在摩尔定律失效的今天，追赶上 ASML 为什么会需要一百年呢？

而且说一句大家不敢相信的话，ASML 另辟蹊径研发浸入式光刻机，其实只用了不到三年！

（2002 年，台积电的林本坚研究出了 193 纳米浸润式光刻技术，使当时现有的设备分辨率大大提高，与投入巨大的干式光刻技术相比节省了大量的研发资金。但是各大厂商，包括尼康在内，都担心自己的干式光刻技术浪费了研发成本，不想更新，劝台积电放弃新技术。

结果找不到合作对象的林本坚找到了已经更名的 ASML，一个亏损多年的厂商。

于是台积电也投资了 ASML，占有了一定的股份，开始用新技术生产光刻机。

2004 年 ASML 和台积电共同研发出的第一台浸润式微影机。双方研发出这个技术，只用了两年时间。）

其实，中国自己的光刻机，及去美产业链，最缺乏的还不是技术，而是市场，以及市场带来的迭代的机会，因为现在大小生产商都喜欢用外国货，嫌弃国货不成熟，除了华为，也没有用国货的动力，国货几乎没有迭代的机会——终究推动科技的进步的，其实是市场本身。

知乎用户 匿名用户 发表

我就是学低维物理的，也上过各种工程系半导体，Heterostructures 物理的课，考题都是直接 prl 的 paper 改的，老师也都是领域大佬。说实话，这种问题的意义不大，和所有事情一样，有足够的人才，短期都可以做出来。

可这是个工程问题，不是一个天才想出个优美的 Hamiltonian，然后用普通物理学家都没学过的数学解就够的。你必须要先放一大批人才，培养出国内一系列尖端的基础仪器公司。比如 Zeiss，Nikon 这种做基础光学的，比如 coherent, IPG 这样的激光公司，还有 Aldrich 这样的化学公司，等等等等。然后你再让各公司的顶尖人才合作，物理学家和工程师一起讨论，那是不需要多久。

可是现实是，就算一开始大家读博时候愿意一辈子做这个，可毕业时候一看身边同学，要么为了科研继续去读博后找教职了，要么就去 hege fund 做 quant，要么去 google，facebook 做 mle 了。没有人愿意拿着三分之一，甚至十分之一的工资，孤身一人去 Oregon 这种乡下呆 clean room，再熬个三五年再回国效力。

咱们中国人才是很多，但世界吸引人的事业更多，要千千万万的物理，工程人才都打十年鸡血，不考虑别的行业，一心拯救国家芯片行业，这概率不用我说了吧。

知乎用户 创芯校长 发表

2002 年，光刻机被列入国家 863 重大科技攻关计划，由科技部和上海市共同推动成立上海微电子装备有限公司（下简称 “SMEE”）来承担，2008 年国家又启动了“02” 科技重大专项予以衔接持续攻关。

经过快 20 年的研发，光刻机的集成技术已经完成从 0 到 1，取得了许多重大的突破，但不论是技术深度，还是设备精度，国产光刻机都被海外竞品甩在了身后。

在中国工程院信息与电子工程前沿论坛上，中芯国际 CEO 赵海军毫不避讳地讲到，中国光刻机落后荷兰阿斯麦（ASML）20 年时间。

国产光刻机发展路上有两大拦路虎：

一是政策壁垒，

二是产业壁垒。

政策壁垒是指以瓦纳森协议为代表的合作条约，受这些合作协议影响**，不少国家与中国进行交易都需要经过美国同意**。

三年前，中芯国际成功购买 ASML 公司 EUV 光刻机，但 ASML 公司 EUV 光刻机迟迟无法获得出境许可，本质上来说，就是受到了瓦纳森协议的影响。这类合作协议，让中国加入全球生产体系变得尤为困难。

至于产业壁垒，简单来书评，就是单纯的技术储备不足，国内大力发展光刻机的全都是国有企业 / 单位在牵头，中科院的微电子所，部分地区的光刻所，以及科委牵头组织的一些研发项目。

其实发展缓慢的原因，很大的原因就是买办思想在作祟，面对国外先进的设备和工艺，企业想要快速发展，肯定是造不如买，买不如租。

归根到底的原因是半导体产业涉及的产业太广，而光刻机技术的突破又太难了，高端化学、高端光学、高端化工等等。

对于企业来说，看重短期利益，不顾长期利益，结果就是这么多年我们的基础技术依然非常的薄弱。

目前全球光刻机主要被荷兰 ASML、日本佳能和尼康所垄断，三家厂商合计占据了约 99% 的市场份额。当然，我们熟知的生产 EUV 光刻机的荷兰 ASML，这几年更是一家独大，所有先进制程的芯片生产全部依靠 ASML 的光刻机。

去年上海微电子就传出了今年年底会推出支持生产 28nm 芯片的国产 DUV 光刻机，甚至还在同步研发 14nm 的光刻机，但是今年已经过半了，还没有面世。

其实很多事情都是媒体捕风捉影，我们都知道饭要一口一口吃，很多事情，如果一开始的基础就不牢固的话，那么后期是很难做好的。

EUV 光刻机西方国家花了 30 年的时间才攻克的，但是我们这边放卫星的消息很多，经常媒体不由自主的让大家沸腾一下，然后就没有然后了。

技术上落后那么多，真能那么快就赶上来么？

难啊！

其实做技术最重要的沉下心来，知道我们的航空母舰为什么后期发展喜人么？

因为一步一步的踩着前人的技术和经验走出来的，当年辽宁号从国外拖回来，吃了多大的苦，费了多大的劲，但是我们可不敢好高骛远的说，我们要造出核动力航母。

我们怎么干的呢？

我们把买回来的机器不断的研究，然后改装，吸取里面的技术，不断的为我所用，然后再一点点的改进。

他山之石，可以攻玉！

其他军用的机器设备也是这样的，从来不说假大空的大话，认清事实，扎扎实实的先学习技术，再改装，再仿造，再自我设计，一步一个脚印。

但是媒体掌握了财富密码啊，知道什么东西大家爱看啊，于是经常发一些激动人心，惹人沸腾的东西。

什么时候我们能像造航母一样，不再浮躁，踏踏实实的沉下心来，才能真正取得大的进展。

有些路看起来很长，实际上走的最稳最快。

再 EUV 光刻机之前，大家都用 DUV 光刻机，那 DUV 光刻机我们整明白了么？

似乎也没有整的那么明白。

上海微电子已经量产了自主研发的光刻机，包括了 SSX600 和 SSX500 两个系列，但问题是上海微电子的国产光刻机，在技术上的确和海外差距非常大。从芯片生产的角度来看，上海微电子量产的国产光刻机，目前可以制造 90nm、110nm、280nm 的芯片，相比 ASML 的 EUV 光刻机已经可以量产 3nm 芯片相比，还是很难相提并论的。

而且除了光刻机在基础技术和芯片工艺上的差异之外，上海微电子的国产光刻机在良率和小效率上也无法和海外相比。据悉上海微电子的国产光刻机只是单工台，过货能力只有每小时 75 片，这个生产效率使得有芯片制造需求的厂商，为了成本而不得不考虑采用海外的光刻机，因为即使是生产 90nm 以及更古老的芯片，上海微电子的国产光刻机在良率和产能上，也是无法满足厂商的需求的。

所以我们当下的目标是什么？

是突破 DUV 光刻机啊，是提高原有的芯片光刻制造的良率啊！

好消息是，我们有很多踏踏实实勤勤恳恳做事的工程师和科研工作者。

最近，中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室提出一种基于虚拟边（Virtual Edge）与双采样率像素化掩模图形（Mask pixelation with two-phase sampling）的快速光学邻近效应修正技术（Optical proximity correction, OPC），仿真结果表明该技术具有较高的修正效率。

光刻是极大规模集成电路制造的关键技术之一，光刻分辨率决定集成电路的特征尺寸。随着集成电路图形的特征尺寸不断减小，光刻系统的衍射受限属性导致明显的光学邻近效应，降低了光刻成像质量。

在光刻机软硬件不变的情况下，采用数学模型和软件算法对照明模式、掩模图形与工艺参数等进行优化，可有效提高光刻分辨率、增大工艺窗口，此类技术即计算光刻技术（Computational Lithography）。该技术被认为是推动集成电路芯片按照摩尔定律继续发展的新动力。

OPC 技术通过调整掩模图形的透过率分布修正光学邻近效应，从而提高成像质量。基于模型的 OPC 技术是实现 90nm 及以下技术节点集成电路制造的关键计算光刻技术之一。

上海光机所科研人员提出的这种基于虚拟边与双采样率像素化掩模图形的快速光学邻近效应修正技术，能够将不同类型的成像失真归结为两种类型的成像异常，即内缩异常与外扩异常。

利用不同的成像异常检测模板，依次在掩模图形的边缘和拐角等轮廓偏移判断位置进行局部成像异常检测，确定异常类型及异常区域的范围。根据异常检测位置与异常区域范围，自适应产生虚拟边。通过移动虚拟边调整掩模的局部透过率分布，从而修正局部成像异常。借助修正策略和修正约束，实现高效的局部修正和全局轮廓保真度控制。

另外，双采样率像素化掩模充分利用了成像系统的衍射受限属性，在粗采样网格上进行成像计算与异常检测，在精采样网格上进行掩模修正，兼顾了成像计算效率与掩模修正分辨率。利用多种掩模图形进行验证，仿真结果表明该 OPC 技术的修正效率优于常用的基于启发式算法的 OPC 技术。

相关研究成果发表在 Optics Express 上。研究工作得到国家重大科技专项和上海市自然科学基金项目的支持。

基于虚拟边的成像异常修正：（a）外扩异常修正，（b）内缩异常修正

未来几年时间里，国内的芯片厂商想要制造芯片，还是得以海外光刻机为主，这也是中芯国际不能给华为代工的原因，因为用的是美国的技术啊。

但是国内从未放慢脚步，上海微电子也好，中科院也好，我们现在还是处于苦练内功的阶段，在这个门槛非常高的领域，我们落后很多，但是愿意改变，愿意出钱出力出人才的去做这件事，那么欠缺的也只是时间而已。

业内报道华为已经投资建设了晶圆厂，甚至开始自主研发光刻机，如果是假的，我希望是真的，如果是真的，我希望加大力度！

我是

@创芯校长

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知乎用户 怼天怼地​ 发表

在解决一切技术问题之前，先要解决一个尴尬的问题，如何吸引高端人才去不 sexy 的行业。

众所周知，有钱就会 sexy 一点。

凡是要追赶的行业，当前在国内都算不上 sexy，因为你做的没人家好，不容易挣钱。

我做招生宣传工作也有几年了，发现大部分高中生是没有明显的专业偏好的。例如，在浙江，他们很多人不愿意选考物理，因为物理不容易拿高分。但是选了化学生物的又不想去报考相关专业，因为网上到处充斥着生化环材的劝退贴。最后万金油计算机就成了热门，一来是他们就业工资确实高，二来是他们并不要求考物理。

光刻机一方面是造，一方面是用。不是说把光刻机给你，你就一定能造出什么制程的芯片。“造” 涉及机械，光学，化学，材料等学科，“用” 主要是微电子专业。除了生化环材劝退之外，机械、物理也未能幸免。

知乎上都劝退机械，机械专业真的那么惨吗？ 机械专业的本硕博们，你们现在工作几年了，待遇怎么样？物理专业为什么没有那么多劝退贴？

微电子专业也是比较难招生的一个专业。和上面这些专业的原因一样，网上有很多劝退贴。劝退是因为收入低，收入低是因为企业挣钱难，企业挣钱难是因为技不如人。恶性循环。

这就导致了优秀的学生并不愿意来学这个专业。我记得我本科一个舍友考研，忘了他想考哪儿了，反正最后调剂到中科大的微电子专业工程硕士。那个时候，微电子比现在还惨，工程硕士也非常受歧视。微电子专业被嫌弃也不是一两年的事情了。

光刻机不管是造还是用，和其相关的专业都不够 sexy。造光刻机不是某个学校或某个研究所独家能完成的事情，也没有哪个学校有教光刻机制造的。它们可能会有一些课题组研究方向和光刻机制造有关，但都是其中一小部分。

其他的专业不太了解，和微电子专业倒是经常打交道。就以微电子为例，谈一谈我的看法。

招生宣传这几年，和我聊过的家长也有大几十的人了，倒是有人问过微电子专业的情况，但是最后没遇到一个填报的。另一个原因，也是我们学校微电子专业太菜了。增热度，新增的专业，能 PK 过别人才有鬼了。目前，我们微电子专业的学生，主要是电子信息大类培养的学生，分专业时候，其他专业挑剩下的……

这个专业投入大，见效慢。其中靠近材料的研究方向，对学校来说，还有利可图。其它方向，对学校来说就差点意思。学校也是讲投入产出比的，不能搞一大堆投入，最后论文没有，奖没有，项目经费也没有，帽子也没有，学科评估也搞不动，那不是白投入了么？你得让学校尝到甜头才行。

一说这种国家战略，大家都喜欢从宏观方面入手分析。我觉得学校层面才是逼死一个专业的直接凶手。学科评估，研究生招生名额，招聘名额，处级干部考核办法，任何一个都可以把一个专业卡的死死的。有人好奇了，学科评估不是教育部搞得么，和学校有什么关系。是这样的，现在应对评估的方法是整合优势力量，冲 A。比如某校现在最有希望冲 A 的是电子科学与技术，但凡和这个专业有点关系的成果，师资，学生都给你算到这个专业里，帮你去评个 A。一方有戏，八方支援。那么没希望冲 A 的学科就只能去给别人当绿叶。久而久之，差距越来越大。

人跟人差距不大，西方能造出光刻机，我相信中国人也能。但是人是需要发展环境的，古人就明白这个道理，橘生淮南则为橘，橘生淮北则为枳。不同的发展环境，人的产出就不一样。老是问光刻机的问题，精密光学，精密机床，精密化工问题一个都没解决，这不是在空中楼阁上面建空中楼阁吗？

要解决这些问题，就又回到一开始说的问题， 招不来人，怎么解决？继而是第二个问题，招到人了，怎么创造环境让他们发挥价值。最后，才是我们要多久才能解决相关技术问题。

这个问题下的答案大致可分为悲观和乐观两种。进一步分析，会发现相关从业者大多持悲观态度，外行大多持乐观态度。

从业者关注的是发展环境，外行关注的是资金投入。外行看到的是，一下投这么多钱，看到的是国家的决心。从业者看到的是，钱全被大佬节流，拿去灌水了。其实就算把钱分给基层从业者，他们也会去灌水。这事儿既然来钱快，谁又能抵挡这种诱惑呢？

我认为大学并不适合搞这种产品的设计工作。因为一个产品可能需要几千几万工程师长期的投入和维护。然而现在大学的人员流动性是很大的，以前只是学生入学毕业造成的流动性。铁打的老师，流水的学生。现在老师也流动起来了，因为好学校基本都是 3 年一考核，非升即走。这样怎么才能把一个东西坚持下来呢？

那为什么还要让大学去做这件事呢？因为劳动力便宜。如果上帝说一个东西要五千硕士，工作三年就能做出来，那么找几个大学一起做是最省钱的。如果让一个企业去招五千硕士，一个人年薪 10 万，三年光是人力成本就是 15 亿。年薪十万能招个啥样的硕士……

这么大的国家，紧急的事情，花钱的地方有很多，光刻机这事儿优先级真的高吗？扶贫，稳就业，抗疫，去除金融风险，看着都挺紧急的，任何一个都是直接关系民生的大事。这么多事情把精力，财力，人力一分散。留给光刻机的还剩多少？

除了和其它大事竞争，科研内部竞争也很激烈。如果你来当领导，看着一大堆科研人员写的项目申请书，我保证你分不清哪个是最紧急的。因为每个人都说自己这个最紧急，需求最迫切，创新性最大，你个外行，懂啥？

这两年我们加大投入后，集成电路相关企业给的工资水涨船高，不是资本家发善心了，是因为生源少，用人单位要抢人了。说明我们在这个行业人才缺口比较大。我们人才缺口在那儿放着，总不能人才还没培养够，就把东西先造出来了吧？用人需求大 -> 工资涨 -> 学校招生人数增加 -> 高考分数线提升，这个传导需要一个过程。

我觉得，说 5、6、7、8 年造出来光刻机，是有些太乐观了。一个本科生，硕博连读到毕业，至少也得 8 年吧。8 年毕业的都是人才。9-10 年是常态。一个本硕连读的硕士也要 6 年左右的时间毕业。

这就像足球一样，老是投钱，列 X 年计划。却不从最基础的青训体系抓起，当然是越踢越烂了。从业者基数大了，你才能去挑。人都不够，怎么挑？我们最好的球员现在在西乙踢球，你给我说冲世界排名？冲个毛？去充 Q 币吧，腾讯有钱必应。

靠归化球员能解决人才不足、水平低的问题吗？既然归化球员不能解决足球问题，归化科研人员怎么解决科研问题？

日韩踢得好，还不是因为球队里大部分在欧洲联赛。足球运动又不是封杀对象，人家为你敞开一切。

这么看起来一个体育运动，在发展方法正确，先进势力向你敞开怀抱的情况下，尚且需要十几二十年去追赶。科研耗时应该只多不少。

另外，真的不要拿原子弹说事儿了，朝鲜能造，伊朗有条件也能造，说明这玩意儿根本没那么难。不是核大国限制，现在有原子弹的国家说不定几十个了。但是你让朝鲜和伊朗去造光刻机，那不是天方夜谭吗？

科研和科研是不一样的。能造原子弹的国家有多少，能发射卫星的国家有多少，能造设计芯片的国家有多少，能制造芯片的国家有多少。数量越少，说明难度越大。这样的类比是没有意义的。

科研和产品也不一样，科研多次实验成功一次就可以拿出去吹。产品合格率低，就没有竞争力。就拿人脸识别来说，你正确率 82%，我 84%，比你强，我就能发论文了。然而低于 95% 的正确率，很难说它有很大的应用前景。从 84% 到 95%，可能并不是你在老路子上调来调去，需要引进新的方法和理论。

所以，什么时候我们找到做这种高科技产品的正确路子了，再来谈这个问题，会比较合适。

知乎用户 Li Richard​ 发表

自己又看了下自己写的答案，除了把 316 写成了 314(粗心，没得解释)，还有些不好的误导

事实上，就像我在讨论区里面说的，不用国产的 316LEP 的管子有一部分是市场选择的原因，因为半导体行业是国外先兴起的，再从国外慢慢传导到国内，所以外国厂家在整个市场中占有了市场份额，具有有利位置，再要进去就要付出更多的努力，起码你的东西要比别人做的好，也要比别人做的便宜。现在我们的问题是，做的便宜自然是没有问题，但是做的好…… 有些人觉得不就是做个管子么，有啥难的，恰恰是这样的思维，限制了我们的精细化发展。这么说吧，这种等级的管子是不可以手动切割的，手切 100% 废了管子，焊接也是，要使用轨道自动焊机，切割工具和焊机又都是进口的…… 所以就变成了工具，材料，检测仪都需要用进口，我们呢，只能出工艺和人工。由小见大，我们在慢慢爬这个科技树的时候，还有好多的点没有加上，这不是做一个光刻机的问题，这是一个整个工业体系升级的问题，科技树点到了，自然做光刻机也不是问题，所以，同学们还需好好努力。

===== 原答案的分割线 ====

嗯…… 我就想说一个事实，迄今为止，虽然我国钢铁产量世界第一，但是我们在半导体厂内用的高等级 316LEP 不锈钢管道都是进口的，国产的圆度、一致性和内壁光滑度不够好。

肯定会有人说，不就是钢管么，咋还要这么高标准，因为，半导体厂用的气体，水的要求特别高，往往是 1ppb 的杂质要求，就是 10 亿个分子里面只允许一个杂质，钢管的内壁只要有一点没做好这个组分可能就永远达不了标。

Ps: 测组分的仪器也是美国货……

我们还有很长的路要走，把自己手上的活儿做精细做好比 yy 强国要来的实际

知乎用户 南囿乔木​ 发表

从商业角度看本来是不能的，ASML 就象一座大山一样难以跨越。

但现在必须能了，因为山没了。你必须自己填起一座山，那是中国高科技行业的基础。

这得感谢懂王的打压封锁。

知乎用户 潜龙勿用 发表

看见很多行业技术大佬写的回答觉得都很对，但事物在变化和发展的，并不是绝对的，所谓的工业皇冠之一光刻机，也不例外。

对于国内的经济和科技环境变化我就不说了，上面很多人都说过了，我碎碎念一下国际政治环境的变化。

欧盟在英国脱欧，美国退出国际多边架构的大环境下，它只剩下一条路子可以走。

先是欧盟更团结凝聚，有德法的带头下，欧盟内部更加巩固。例子就是欧盟刚通过的 3900 亿对这次疫情下的金猪国家（意大利、西班牙、希腊等靠旅游的国家）的无偿援助，连 “节俭四国” 都能搞定，只能证明没有英国的欧盟是更加团结了。

二是结盟。一个团结的欧盟是不被美国待见的，原因大家心知肚明，今日美国用在中国身上的手段明天同样可以用在欧盟身上（想跟我抬杠的可以仔细了解一下希腊进入欧盟的整个过程，以及美国投行在其中扮演的角色）。除了美国，第二选择只能是中国（总不能是俄罗斯吧？）。国与国之间的政治跟几千年前的中国是一样的，合纵连横，强强结合是最上策，做不到最上策，至少可以团结大多数。意识形态再顽固，在面对本国生存发展问题上都得妥协，毕竟欧盟各国过了太久的好日子了，由简入奢易，由奢入简难。

没什么是不可能的，这次疫情相当于第三次世界大战，加上川普上任来的各种骚操作，很多的现有国际秩序都会变更甚至颠覆。

欧盟唯二的带头大哥，法德都有隐藏的 “反美” 属性，能不能爆发，要等一个时间点和引爆点。

说了这么多，光刻机自研的前景我是乐观的，但不是盲目乐观（除非欧盟死心塌地倒向中国）更多的是欧盟拿手上的科技筹码不断的跟中国谈判，反之，中国也会跟欧盟作同样的操作。

但我们也必须承认，光靠自己，是无法在短时间内攻克现代工业科技皇冠的，航空发动机是一个，光刻机是另一个。

有点耐心吧各位。

知乎用户 知乎用户 6U7WHD 发表

如果一个外行，没学过微电子，不懂物理学，连自己重装操作系统都够呛，对于光刻机这样的问题，能说出啥专业意见。花大把时间拼凑二手资料，时间不值钱啊。

光刻机这玩意，市场容量太小，且有些部件，中国不占优势，在纯市场经济条件下，中国不具备市场竞争力。但是，如果拿它卡中国产业的脖子，那中国一定能搞出来。

快则三五年，慢则十年。

航空发动机，以前也有人咋呼，中国搞不出来。现在呢，歼 20 都装上了。十年就从不能造，发展到世界一流水平。

高铁，也是如此。当年搞磁悬浮的时候，多少人在那里鄙视中国，现在呢，中国高铁垄断了市场。

尔曹身与名俱灭，不废江河万古流。

知乎用户 吹牛 发表

最近看了很多关于华为准备研发光刻机的文章，大部分都说光刻机很难，中国凭自己的力量还做不了！但是作为一个中国普通人来说多一些祝福，少一些质疑不好吗！作为一个局外人，我想说悲观主义太严重了。世界生产光刻机的不止阿斯麦一家，只不过阿斯麦代表着世界最先进技术而已，国产有低端的光刻机，好像是 90 纳米，日本尼康，东芝，也生产中端光刻机，华为只是向着 7 纳米 5 纳米突破而已，中国作为唯一几个全品类工业产业国家，光刻机产业链都有，不过都不高端而已。中国的产业链为什么不高端，这和中国所处的环境有很大关系，比如凤凰光学研发出了媲美卡尔蔡司的光学镜头，可是国内谁用的上呢？卖国外谁又能买呢，阿斯麦是肯定不会买的，那么问题来呢，研发超级高端的镜头有什么用呢？在市场环境下，没有需求做为动力，怎么搞研发呢！说句题外话，华为，中兴能够打入欧洲国际市场，这和国内向爱立信，诺基亚，开放市场有关，当然在 2g,3g,4g 时代爱立信，诺基亚确实很优秀，这里不说远了！现在是华为危机，不过也可以看做是中国对电子产业升级的一个重大机会。现在由华为牵头立项光刻机项目，会带动相当大部分相关零部件产业向高端化进军，靠拢！现在华为有大的需求了，华为要的不是光刻机，要的是光刻机芯片产能，国内各分系统厂家，需要借这次机会实现产品升级。各厂家没有钱升级，华为送来了。比如光学镜头需要 500 万美元，华为说我给你 1000 万美元生产出达到我要求的产品，1000 万美元不行就 2000 万美元，先付一半的钱，马克思说过有百分之百的利润，就可以冒着上绞刑架的风险去做，何况这是对自己有重大好处的事，国内厂家不动心，不拼了命的研发升级！再比如激光技术，国内技术和美国是一样的。现在华为有钱，市场有需求，相关厂家一定会拼命研发，升级！国家也会乐见其成，说不定产业基金也会大规模投资，也会让相关科研院所配合！最后大概率会出现向阿斯麦一样的多股东公司来生产光刻机。也许最后生产的光刻机会很贵，比阿斯麦贵，但是最后毕竟我们有了，成本会慢降下来，也许最后没有搞出 5 纳米的光刻机，只有 14 纳米，但是毕竟有了自己的技术，带动了大批相关厂家升级，真正的产业升级，我觉得这就够了！

我最后想说的是，做为中国普通老百姓，对自己国家的产品，产业多些宽容，多点祝福，少点质疑。没有中国的这些企业家，我们还在用万元的功能手机，万元的液晶电视，20 万的桑塔纳！回头想想，我们自己又为中国的崛起做了什么？空谈误国！搞高科技，产业升级难不难，难，就像考北大，清华，难，但是因为难我们就不搞了吗？宁愿这几年难，也不要以后每年都难，曾经的一个又一个科技高峰，都被我们自己拿下: 原子弹，氢弹，核潜艇，反导系统，航空母舰，盾构机，高铁，空间站，全球定位系统，成熟度一半的航空发动机等等，我相信光刻机也不例外！加油吧，华为，祝福华为，祝福中国！

知乎用户 大先生 发表

一，毫无疑问，能！

二，2 年左右拿出中高端样机，3 年左右材料系统全配套。

（评论区的同志，第一：自信心很重要，第二：我并不是盲目自信。本人精力有限，已经很久不写长点的回答了，你们看的不服实属正常，但我的结论经得起检验。）

1，中国科学院、
2，美国哈佛大学、
3，德国马克思普朗克学会、
4，法国国家科研中心、
5，美国斯坦福大学、
6，美国麻省理工学院、
7，德国亥姆霍兹国家研究中心联合会、
8，英国剑桥大学、
9，日本东京大学

这是世界科研机构排名，雄居榜首的正是 “中科院”，

现在中科院立了 “军令状”，把矛头对准光刻机，这就是芯片行业洗牌的开始。

慈父：ASML，你有几个师？

如果我们以常见的武装力量，对世界科研机构做一个划分，层次或许是这种样子：

御林军：国家级科研机构

特种兵：重点实验室、专项

正规军：大学科研、专门实验室

杂牌军：企业类科研

土匪：个体科研

光刻机就那么回事，

中科院只要不追求论文，愿意集中力量去围剿杂牌军，

那就没理由干不过 ASML，

更没理由干不过台积电，

现在就连日本一帮材料商都在瑟瑟发抖。

主要原因就是御林军威力太大了。

各位，您们诚实点给我说说：“你们真的了解中科院吗？哪怕只是框架性的概念呢？”

我知道，你们很多人是不了解的，很多人对脚下这片土地的了解，还不如对欧洲北美了解的多。

在你们眼中，芯片产业大约是这么个样子：

德国的镜头不得了，真的吗？
日本的精密件、化工产品不得了，真的吗？
荷兰的 ASML 不得了，真的吗？
美国的软件不得了？这个是真的。
中国啥啥都不行，真的吗？

你们

对中国科研现状及进展一无所知，

对中国工程师、科学家一无所知，

对世界华人工程师、科学家一无所知，

你们

只愿意相信媒体提供的 “人咬狗”，不愿意相信更多时候是 “狗咬了人”。

已经被 “封关禁海” 了，你们还在建州筹划“大明铁锅是从蒙古买，还是找倭奴进货”。有意义吗？

我建州没有百万漕工，也没有江南大儒，但百万铁匠还是有的。

自己造锅就那么不可能？

补充一：

1，专利制度除了保护发明者，更能封锁落后国家。我们是被西方世界整整封锁了 70 年，光刻机属于工业母机，我们造出来同样可以对外封锁，一个零件也不外卖出去，那么专利根本就不是问题。

一句话，先解决有没有的问题，破除封锁，以后再以技术迭代来解决专利壁垒问题。

我的光刻机不但不卖出国，连看都不给你看，你凭什么说我侵权呢？你不服那你告我呀。

2，市场必然是以我国市场为根本，就是搞进口替代也能养活我国自主的芯片产业，一年 3000 多亿美元的进口啊同志们，哪怕就切三分之一也足够了，太够了。京东方就是一个显著的例子，缺芯少屏，屏已解决，芯也必然会解决。

3，新材料在芯片产业上，目前最紧缺的还是化工品，这玩意属于必需品，我们全部具备，只是高品质的产能还很低。这从日韩贸易战上就已经暴露出来了。

4，我们没有光刻机的技术储备吗？

有的，我们从 70 年代就开始造了，直到现在依然还在造，起点不晚，先辈们不但 40 年前就造出来了，还留下了很多技术资料，积累了充分的经验。

哪怕就是 ASML，开发的不就是台湾省林本坚的技术路线吗？林本坚行，大陆的科学家就不行了吗？扯白皮血统论的你出来，我保证不打死你。

我们的技术进步慢了点，是有原因的，现在也就 28 跟 5 的差距，美帝打的就是这个差距，依仗的不过就是美帝的软件生态，包括设计软件、工控软件、操作系统、应用程序等等。我们没有这个生态，你造出来还是要去适配它，它当然可以让你适配性差到没市场价值，凭什么适配你呢？

现在好了，鸿蒙搞多设备适配，手机、电脑、平板、车载、家电、乃至工业设备，鸿蒙可用时，出头之日就有了。

以前造两弹一星核潜艇，那是实打实的 “从零开始”，到了今天，我们还是从零开始吗？

不是的嘛！我们有丰富的技术储备，有世界第一的科学家工程师队伍，有百万码农漕工，有先进的辅助工具，有经验，还有钱，还有自己说了算的庞大市场，凭什么会失败？

你能造出来堪用的机器，市场就敢给整个芯片行业下一个万亿元的单子，以庆祝一下国产的成功。

生存不下去吗？第二年再来两万亿，我就不信扶不起来。

5，软件，首先是 EDA，我们一直就有国产的熊猫在应用当中，目前正在加紧升级打造一套自主产业生态。其次是工业控制软件、操作系统、底层代码，这些都是整体短板。

我一直说废除英语必考，主张改成程序设计必考，就是觉得英语已经毫无用处，SCI 同理，都是投入产出比太低。

强迫全体建州鞑子学南语本就不可理喻，还要求写那么多 SCI 八股文干什么？丰富程朱理学吗？

程朱理学的解释权在建州吗？

你写的越多，程朱理学就越强大，建州土话就越孱弱。

补充二：

不要神话光刻机，它就是一台精密度很高的 “激光印刷机器 “而已，所有的技术路线、方案都是清晰明确的。

芯片制造类似于印刷制图，也许不太恰当：（只为方便理解）

EDA：制图软件（国产可用）

光刻机：打印设备（国产精度低）

蚀刻机：雕刻设备（国产可用）

硅片：基材（国产可用）

特种化工品：耗材（国产可用）

封装测试：剪裁、质检、装订（国产可用）

补充三：

中国的教育，目前最大的问题是：

学生把太多的精力耗费在 “文科” 上面了，尤以英语为甚，语文次之，还有各种各样所谓素质教育的才艺补习班。真正能给国家 “强身健体” 的理科类反倒不被重点强调。

你可曾见过，发达国家学生普遍耗费大量精力学习 “语言学科”？

文章写再好，能写出哪怕一块电路板，一颗粮食出来吗？不能的。

能传世的好文章，古今中外，每个时代也只有寥寥百十人能写出来，其他人都是读者而已。

写研究材料需要多好的文采呢？

当今的作家，说白了就是写手罢了，这个社会根本不需要那么多 “作家”，酸臭文人做啥啥不行，无病呻吟搞事第一名。

一篇沁园春雪，把常凯申发动的一干写手虐成狗。

臭老九首先就是 “臭”，教员诚不欺我。

教育的目的是什么？（尤其是高等教育）

是要求学生整齐划一？批量生产？

还是因材施教？各展所能、百花齐放？

五指一样齐，这种思路已经不能满足中国未来发展的需要了。是时候改变培养取才模式了。

知乎用户 令狐瞎冲 发表

先说结论：能，少则三年，多则五年。

一般来说，一个国家的科研水平跟经济发展水平和经济体量成正比，第二次工业革命后，德国经济突飞猛进，德国的科研水平也是一日千里，在二战之前，德国的诺奖高居世界第一。战后美国的经济实力如日中天，美国的科研水平也是碾压其它的任何国家，再后来，日本的经济强势崛起，日本的科研水平也迎来了爆发，我们今天看到日本的诺奖爆发，其实是几十年前开始的积累。因为搞科研，需要有钱有人，只有具备雄厚经济实力的国家，才能做到这两点。中国现在的 GDP 高居世界第二，且已经开始吸引世界其它国家的优秀人才，中国人本身也聪明，为什么德国人日本人能做到的，中国人就做不到？先不要在意诺奖，这个东西是需要时间积累的。

虽然中国的 GDP 已高居世界第二，世界五百强的数量也是仅次于美国，但现在的中国人普遍还是严重缺乏自信，前段时间清华大学说他们已建成世界一流大学，网上的各种冷嘲热讽惨不忍睹，其实我们可以细细梳理一下，清华大学现在聚集了多少世界顶级人才，从最早的杨振宁，到最近的朱纯松，还有前几年比较热炒的姚期智以及他的 “姚班”，这些都只是我们知道的，还有没上过新闻、我们不知道的呢？我要说现在的清华大学能经松吸引世界各个领域的顶级人才加盟，估计你们又要喷了，可事实就是如此，如果现在的清华大学都还不能算是世界一流大学，那我真不知道什么样的大学算是世界一流大学了，难道是以金融和房地产闻名的香港大学？

关于大型集成电路制造的成套技术，在 2015 年的《中国制造 2025》中早已被列为重大专项，最近中科院发话了，美国卡哪里，我们就攻哪里。我要说中科院是世界上数一数二的科研机构，其科研实力可以吊打世界上百分之九十九的科研机构，刚刚喷完清华大学的人估计立刻要调转枪口了。中科院是什么单位？没把握他们会冒着被打脸的风险乱说？既然中科院都这么说了，那么保守估计，光刻机进展顺利，能按既定时间节点完成，乐观点估计，光刻机基本上成了，正式投入使用也就这一、二年的事，我知道光刻机有很多极其复杂的系统，跨越了从物理学到化学到机械到光学等大量的科学领域，但不知道大家是否留意到，中科院可能是世界唯一一个涵盖了人类几乎所有科研领域的科研机构，要不我怎么说中科院的实力可以吊打世界上百分之九十九的科研机构呢？有人会问，中科院这么牛 B，为什么中国的高端制造业依然落后发达国家这么多呢？首先中科院主要从事的正是被大家诟病的基础科学，这也是中国科研离发达国家差距最大的地方，但基础科研成果延伸到大家能接触到的民用领域，是需要一个时间和过程的。再说，在民用领域，中国的高端制造业离发达国家的确还有段距离，但军工领域呢？J１０战斗机、J２０战斗机、运２０运输机、武直１０直升机、空警２０００预警机、０５５大驱、“山东号” 航空母舰以及还未露出真容的可能带电磁弹射的新型航空母舰、北斗导航系统、空间站、月球车、火星车，以及跟上面配套的发动机、雷达、材料以及空间技术等等，这些可都是百分之百的中国自主掌握的技术，放十年前，这些东西连个影子都看不到，只存在于我们的梦里。记住一点，自工业革命以来，人类最尖端的技术总是优先应用于军事领域，这样的例子不胜枚举，就说两个，一个是卫星导航，最早是用于军事，还有以前手机通信用的 CDMA，其实也是早期美国军方使用的通信技术。中国军工领域的大爆发，正是中国高端制造业全面赶超世界一流的前兆，这一点美国人比我们更清楚，所以《中国制造２０２５》出来后，美国人受到了强烈的刺激，开始近乎疯狂地打压中国的高科技产业，但我们要窃喜，美国人醒悟得晚了一点，中国已经上路了，谁也没有能力让她停下来。

但不管我怎么说，总会有一部分人坚信：清华大学是三流大学，是 “留美预备班”，中科院只会骗经费刷论文，这个我是无能为力的，你开心就好。

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补充一下，本人的确不是什么专业人士，所以无需用这个来嘲讽，我只是根据中国这些年来的发展作出的判断，信或不信在于诸位。

知乎用户 云中小斑马 发表

能，最多十年。先吹一波。

光刻机很难吗？不知道，没搞过。反正知乎上好多牛人说什么相当于把北京、上海刻在指甲大小的地方，误差不能超过多少多少。

本人研究生搞的是原子力显微镜，大家简单一点理解就是测量精度有 10nm 的测量仪器。普通的实验室，从螺丝到每一行代码都是自己设计的。就一个气浮台和光敏传感器是买的（淘宝一大把），两个研究生做出初代产品，一个博士和一个研究生完善后，理论测量值为 1nm，实际测量值可达 10nm。

难吗？我感觉不难。所有的资料估计期刊上都有。难的不过是一步一步改进的过程。但这不就是万千中国人最擅长的吗。师夷之技以制夷这可是末期的清朝就知道的啊。我们难道不知道？搞不定？还有好多人说这玩意比原子弹都难。我真想撕烂他的嘴。

从最早的烂安卓，牛苹果。到现在的华为睥睨中华，大总统都害怕，这才几年。什么中国没有人才，中国环境恶劣，我真想撕烂你们的嘴。两弹一星真是三钱的全部功劳吗？茼蒿素是屠呦呦一人的战绩吗？恐怕都不是。中华民族向来不缺人才，不缺擎天白玉柱，架海紫金桥。坚韧，奉献，爱国这些品质从来都是刻在中国人的血液中。这才是中国人不被奴役的根本原因。

不写了，要吃饭了。

知乎用户 湖海散人​ 发表

我也是搞工程技术的人，任何技术最难搞的都是第一台。搞出来

难度都是以数量级级别的下降的

肯定能。

要多久，这取决于中国得决心。

而且，目前很明显，不单单是光刻机的问题。是很多问题聚合在一起的问题

说到底还是科技欠债的问题。毕竟美国富裕了这么多年了，我们才刚爬起来。

用毛主席的一句话说，核潜艇一万年也要搞出来。

诸位，时间在我们这边，对我们有利。

知乎用户 谁家 发表

经常看到很多人动辄就是：“任何一个国家都不可能独立造出光刻机”，好像我国永远也没有希望造出先进的光刻机一样。在这里我想说，并不是中国人想要自研光刻机，而是美国和西方卡我们的脖子。我们想买现成的，以前卖给你，现在不卖了，我们想设计芯片让别人代工，现在也不给做了。所以，并不是我们中国人吃饱没事干要自研光刻机，而是现在不得不这么做。在这一点上，我们所有十四亿中国人都没有退路，因为芯片，操作系统这些东西现在就跟水，电和空气一样，我们已经完全离不开了，除非所有中国人都自愿停到今天，以后再也不发展，或者全体退回到八十年代的生活状态。以前的中国没造出过先进的光刻机，原因是我们能买到更好更成熟的外国产品，并不是我们真的造不出来。那些口口声声说全世界没有任何一个国家能独立造出光刻机的人，他们忘了中国是一个拥有十四亿有着普遍教育水平人口的国家，这样的体量放眼全世界也是其他任何一个国家所达不到的，所以我们不要因为别人不能独立造出光刻机就认为我们自己也不行，而且其他国家也完全没有自研光刻机的必要性。更何况我们现在并不是要解决能不能造的问题，而只是要解决怎么去造的问题，所以我们必须要造，也一定能造！

知乎用户 夏木​ 发表

1964 年 10 月 16 日，首次原子弹试验成功。经过两年多，1966 年 12 月 28 日，小当量的氢弹原理试验成功；半年之后，于 1967 年 6 月 17 日成功地进行了百万吨级的氢弹空投试验。

1999 年 12 月歼 - 10 开进行飞行测试。 2002 年 6 月首架装备俄制发动机的歼 - 10 小批量生产型号首飞。

歼 - 20 隐形战斗机首架技术验证机于 2011 年 1 月 11 日中午 12 时 50 分左右进行首次升空飞行测试，13 时 08 分成功着陆，历时 18 分钟。

2013 年 11 月，辽宁舰从青岛赴中国南海展开为期 47 天的海上综合演练，期间中国海军以辽宁号航空母舰为主编组了大型远洋航空母舰战斗群，战斗群编列近 20 艘各类舰艇。

2017 年 4 月 26 日，中国首艘国产航母在大连正式下水。2018 年 5 月 13 日清晨，中国人民解放军海军山东舰离开码头，开始海试；

曾经，我们等待的心也是如此煎熬！

现在国家把这些放在 02 专项里边，难是很难，虽迟但到，相信耐心等等，总会来的吧。

知乎用户 福源​ 发表

路漫漫其修远兮，吾将上下而求索。

光刻机，通过将各路电路的图案经过激光，缩微投影爆光到光刻胶上。看似简单的解释，其实非常复杂。所以，如今做的最好的就是荷兰的 ASML 的光刻机。而尼康，佳能，中国的上海微电子装备和它相比还远远不如。

那么，为什么台积电，三星可以拥有 ASML 最先进的光刻机呢？主要是因为台积电，三星在 ASML 中都有股份。所以，它们可以第一时间使用到 ASML 公司的光刻机。

目前，我国为了摆脱这种困境，专门成立了，上海微电子装备有限公司（SMEE）。终于在 2007 年研究出了 90nm 高端投影光刻机；而在 2016 年内部验收了 28nm 光刻机。虽然说和荷兰 ASML 的 7nm 光刻机相去胜远，但是这已经是进步。

高端光刻机不是一个国家的心血结晶，它是世界人民的心血结晶，它涉及的学科都是近代科学理论能够达到的巅峰，它包含了、数学、光学、流体力学、机械、精密仪器、高分子物理及化学、自动化、图像识别等众多学科的精华，毫不夸张的说，荷兰为什么能制造第五代光刻机，是整个欧洲及美国的众多高科技公司的技术结晶，所有的技术、设备都是最好的，中国想一国之力与欧洲及美国齐头并进，目前来说是很有难度的。

难度相当于中国 60 年代要造原子弹，但是从原子弹的事情告诉我们，中国只要想做一件事，那怕环境再差，我们也能够造出来，我们缺的只是生产，我国芯片设计技术已经是世界前列，理论知识已经具备，现在只是设备问题而已。

其实，上海微电子的在光刻机领域的进步虽然有目共睹，但是和荷兰之间的差异还是非常大的。这里主要是因为一些关键零部件，还是来欧美发达国家，比如瑞典的轴承，德国的镜头，美国的光栅，法国的阀件等等。而这些国家对于中国零部件都是禁运的。

中国本身就是可以造出光刻机的，不过比世界最先进的标准差两到三代，荷兰阿斯麦的高端光刻机现在可以做出 7 纳米工艺的成熟产品，下一步应该是 5 纳米，3 纳米。

不过最近两年我国光刻设备研发取得长足的进步，发展惊人，就在前两天爆出喜讯，中科院光电研究所攻关研制出世界首台用紫外光源实现了 22 纳米分辨率的光刻机。其实计划是 2030 年要达到世界先进水平，与世界先进技术齐平，以现在看来可能会提前完成目标。

我国光刻技术进步，会使世界上的光刻设备销售价变成白菜价，荷兰阿斯麦的高端光刻设备售价可以达到 1 亿多美金一台，光一个极紫外光源就要 3000 万，而我们的紫外光源只要几万块钱一个，光刻机整机也只需百万级别，到千万级别的。

https://www.baidu.com/link?url=Az-WFy02FApbAPSCqfVxr21SoSQ8zjNdTfbmb_WR0NKidzR2JI3u93xRbatoaAdny9FvMBijPLbqRs1iyC4mW_&wd=&eqid=80e21bd900063d54000000055f1d912d

知乎用户 acebear 发表

如果只论光刻机，不追求 10nm 7nm 的话，已经有了，上海微电子，中科院光电所等等都有的

如果要论搞出世界先进水平的话，快的话大约 5 年，最慢也不可能超过 20 年，最大可能大约在 5~8 年间吧。

为什么？

中国人又不比别人少一个脑袋，别人已经能搞出来的东西，凭什么弄不出来呢？这就表明没有物理定律限制，这不像 “永动机” 这种肯定搞不出来的东西。

再从历史看，基本上对中国禁啥，过不了多久，中国就自己搞出来了，然后价格就大崩盘了。从各种工程设备，到飞机，发动机，火箭，导航卫星什么的，历史上都是这样。所以其实对美国而言比较好的方法是以一个合适的价格卖给中国，这个价格足够高，高到能赚不少利润，但又不至于过高，以至于让中国人觉得购买还不如自己研发一下了。

中国有个举国体制，这个体制有个巨大的缺点：浪费巨大！但从来没有人说这个体制 “成果不行”，所以，无非就是美国人研究这玩意花了 100 亿，10 年时间，中国人花了 800 亿，5 年搞定了。然后你看，中国人没有大 house，没有 2 部大汽车，没有三条狗，这些本来勤劳的中国人应该有的东西都被浪费掉了。但出成果的速度向来都比西方要快的，你看核武器用了多久，北斗多久，歼 20 多久。这个举国体制，浪费确实是浪费，但优点也是同样巨大的，出成果快！

回到光刻机上，这东东可是有专利的，平时我们只谈专利保护，但专利还有另外一面，技术公开，申请专利可是要公开技术的，也就是说关键技术其实是公开的，当然，只是公开了一个思路，剩下的部分用钱去砸就好了，也就是说，并没有高不可及的门槛。

所以，最慢的话，我们只能在人家的专利技术上稍稍改进一下，所以要 20 年，等专利保护过期，快的话我们能通过研究别人的技术，搞出自己的创新，这样 5~8 年就差不多了。

补充一点具体的的差距吧，好多信息都是公开的，凭这些信息当然不能做到准确的预测，但起码知道差距没有娱乐报纸上表述的耸人听闻

我们现在已经可以做到的是下图 (图是从网上找来的) 中左边那种“平面 FET”；而现在 Intel 或台积电可以做的是右侧那种 “FinFET”。

平面 FET 中，电流的通道 (从源极到漏极) 如果做得太细，电阻就会上升，发热就会变得严重起来。而“鳍式 FinFET”，可以明显的从图中看出，电流通道的横向尺寸明显变小了，但纵向尺寸变大了。公开的报道上可以找到，20nm 以上的集成电路平面 FET 可以满足要求，而 20nm 以内的目前成熟的工艺只有这种 FinFET，且有报道指出 7nm 是这种 FinFET 的极限，如果要超过 7nm，仅仅 FinFET 是不够的。下面的链接，有细致的说明。

筱明：FinFET 的原理与工艺

下面是 intel 的公开说明，intel 在 22nm 技术时，因为做不出薄的鳍片来，所以做了 3 片，后来技术提高了，减成了 2 片，从图中可以看出，每片都比以前更薄更高了。

从上面的链接抄个图来

可以看到，FinFET 虽然搞了这么一长竖条电流通路，但高速电路中的电流是高速变化的，所有以很强的趋肤效应（上面从左到右越来越强的趋肤效应），就是高频电流其实只从表面通过，越高的主频，这个效应越明显，这也是为什么 CPU 主频进一步上升，发热会急剧增加的原因。所以，有人提出，如果要进一步提升，可以把鳍片从中间隔断，隔成多个

上图来自三星的公开宣传资料 (MBCFET – Multi-Bridge Channel FET – Samsung@First)，一种是上图左边的纳米线，一种是右边的纳米片，三星说该项技术可以提升到 3nm，预计最早明年 (2021 年) 可以开始试生产

【译制】三星 GAA 工艺 MBCFET 的介绍 大约首发于 2022 年 3GAE_哔哩哔哩 (゜ - ゜) つロ 干杯~-bilibili

下面是 google 专利搜出来的

这些专利的具体内容我不懂，这些个专利是否可以最终做成光刻机我也不知道，但起码表明华为 / 中科院电子所等等 从 2013~2015 年起就开始在研究，并不完全是空白，我们现在需要时间和金钱来验证这些是不是能做出产品来

Chenming Hu and FinFET，FinFET（鳍式场效应晶体管）之父胡正明教授带你简单了解 FinFET 工艺_哔哩哔哩 (゜ - ゜) つロ 干杯~-bilibili

知乎用户 蚂蚁蚂蚁蚂蚁 发表

阿波罗计划始于 1961 年 5 月，至 1972 年 12 月第 6 次登月成功结束，历时约 11 年，耗资 255 亿美元（现在的 15000 亿美元）。 约占当年美国 GDP 的 0.57%，约占当年美国全部科技研究开发经费的 20%。提供了惊人的就业长期增长。在工程高峰时期，参加工程的有 2 万家企业、200 多所大学和 80 多个科研机构，总人数超过 30 万人。其科技成果所带来的深刻影响，人类至今受益。
通过阿波罗计划，美国建立和完善了庞大的航天工业和技术体系，有力地带动和促进了一系列高新技术的快速发展。例如数据传输与通信、光学通信、高性能计算机、电子技术、自动控制、人工智能、遥科学、自动化加工、超高强度和耐高温材料、生物工程、医药与医学、深空测控、大推力运载火箭等。
后来，该工程的人工智能、机器人和遥控作业等许多技术成果又转移到民用领域，促进了科技与工业的整体发展与繁荣，其二次开发应用的效益，远远超过阿波罗载人登月工程本身所带来的直接经济与社会效益。美国在 20 世纪后 10 年能够保持高速、高效增长，在很大程度上得益于阿波罗载人登月工程派生出的上千种应用技术成果或专利在经济领域的应用。

想起半个世纪前的美苏的太空竞赛，为了去月球上看一眼，用 0.5%*11 个国家 GDP 的预算支出，来搞这个阿波罗计划。美国人当时的初心也只是想去月球看一眼而已，没想到会给后面半个世纪那么多科技财富。

研发成熟光刻机有阿波罗这么复杂吗？远远没有。光刻机已经被人类实现了，我们只是做技术和工艺的追赶。

很多东西是不能用经济帐去算，一个超级大国，有超级工程和清晰的 kpi 奋斗目标，是好事。就怕没有上进心混吃等死，我们养了那么多的科研机构，CETC 那么多研究所，就是要解决这些难题的，不行有太多的借口，在解决这个难题的过程中，我们会收获很多东西。

知乎用户 LemonKK 发表

不知道，我只想说整个芯片从设计到制造到封装，整个产业是商业行业，需要有人来买单的，光刻机只是制造这个环节上千道工序的其中重要一个设备而已，光解决了光刻机也没用，只要是和美国沾边的，它就能制裁管控。现在想整个环节用纯国产来生产，90NM 都难做好。

还有芯片制造最花钱的生资产就是 FAB 60% 的钱要用于购买设备，从建设厂房开始到能达到设计产能要接近 5 年时间，你还得有单子做，能盈利，这可不是什么原子弹能做出一个就行。。。国大大基金那点钱真不够看。你就去看看台积电还是能直接买到各种设备的，一年投入都是多少亿美刀。

投资钱巨多，收益期长，还不一定能盈利，很多官员就不愿意给钱的

知乎用户 之乎者也 发表

美国不是要打压中国光刻机，而是在打压中国的科研。。。光刻机已经是夕阳了，毕竟极限已经快摸到了，已经到达物理极限了啊，这是科学规律，这怎么突破。。。。也就是说除非材料变革了，否则你投进光刻机里的钱大概率是会打水漂的。

你光刻机研发拨款多了，其他领域拨款肯定会少。这就是事实，但是现在不搞也不行啊。毕竟人家已经卡你脖子上了，你还考虑将来？先扛过现在吧。

不过也别灰心，当年的原子弹，登月，隐身战机，还有航母，大飞机，盾构机，高铁，甚至是圆珠笔笔尖。但凡国内没有国外有的时候，都会有人跪舔，高呼这些都是高科技。等国内有了，这些人也就闭嘴了。

现在还剩下些什么？也就芯片算是一个吧。不过别担心，我们国家定的计划都是以百年来记的，光刻机国产化，我相信十年内赶上来没问题。

补充一点啊: 评论区里很多人说芯片不是夕阳产业。我仔细看了一下，我也没这么说啊。我说的是光刻机是夕阳。目前硅晶片的极限是 5 纳米，以后再发展 3 纳米也就到头了。还能往 1 纳米以下发展？这是硅的物理极限了啊。我承认，光刻机可能还有个三十年。我们国家如果能买光刻机，然后把资金用来研究其他材料的晶片，这样才能弯道超车啊。

现在这样，把钱投入光刻机，我相信十年左右肯定可以迎头赶上。毕竟现在国内也已经达到 14 纳米了，一眼望去 3 纳米就是目标了。但是这十年资金对着光刻机投下去，以后还是要转型，有点亏。当然我也知道现在肯定是要开发光刻机的，因为现在不搞立马就要完了，也等不到三十年以后了。

知乎用户 球吧剪辑师 发表

绝对没问题，只是需要时间，目前最好的国产光刻机能达到 90nm 工艺技术，然而实际上最先进的荷兰 ASML 公司已经可以生产 5nm 工艺的光刻机。所以说中国要造出 5nm 光刻机还需要很长的路要走。荷兰 ASML 公司是世界顶级光刻机制造商。大家可能对光刻机比较陌生，但是如果说芯片，大家肯定都有所了解，而光刻机就是生产芯片的最重要的设备。比如我们现在的智能手机，没有手机芯片，就制造不出手机，而如果没有光刻机，就制造不出芯片。光刻机可以说是世界上技术最复杂的设备之一，而能够生产出 5nm 工艺光刻机的厂家只有一个，那就是荷兰的 ASML。

目前华为的最高端麒麟 1020 芯片、高通骁龙 875、苹果 A14 都是采用的 5nm 制程工艺技术。在 7nm 以下制程工艺的光刻机，荷兰 ASML 可以说是独霸全球。正所谓，物以稀为贵，一台 7nm 光刻机售价高达 1.2 亿美元，而且还要提前好几年预定。那么生产高端光刻机为什么这么难呢？众所周知，科技企业的最大支持应该就是研发方面了。华为的 5G 技术领先全球，还有麒麟芯片也步入世界前列，这一切都要归结于华为在研发方面的资金投入。去年华为研发费用高达 1317 亿人民币，占全年销售的 15.3%。荷兰 ASML 也不例外，欧洲人均科研经费排名第二的高科技公司。实际上，台积电、因特尔、三星等芯片企业都要使用 ASML 的光刻机，为了共同发展，这几家高科技企业都持有 ASML 部分股份。

同样可以为 ASML 提供大量的研发经费和技术支持。光刻机里面有五万多个零件组成，可以说是一个非常复杂的最尖端的设备之一。很显然，单凭一个荷兰一个国家是无法完成的。光刻机的两个主要零件就是光源和镜头，光源由美国企业提供，镜头是由德国蔡司企业提供。其中还包括有韩国等国家的技术，但主要是西方的一些国家。所以荷兰 ASML 的发展是和多个国家的技术支持是分不开的。中国国产光刻机为什么发展如此缓慢？美国对中国半导体行业的封锁，尤其是特朗普上台的这几年，对中国科技企业可以说是极端打压，比如华为和中兴。然而即使这样，华为的 5G 技术依然领先全球，目前华为在芯片研发领域可以说是处于世界前列。

由于美国对我国在这方面的封锁，国产光刻机根本没有办法使用全球范围内最好的配件。因此国产光刻机的核心组件只能用国产的，大部分的核心组件都无法和国外厂商相比。总结那么中国要造出 5nm 光刻机需要多长时间呢？不得不说，和美国总统特朗普有很大的关系。如果特朗普在今年 11 月份总统大选中连任的话，那么会继续对中国半导体行业封锁。如果那样的话，我国要造出 5nm 光刻机的话，至少要十年左右的时间。如果特朗普下台的话，中国很有可能在 5 年内研发出来顶级光刻机。中国有集中力量办大事的制度优势，只要给中国机会，中国一定会让全世界瞩目的。

荷兰 ASML 公司的人说，就算中国得到了 7nm 工艺光刻机的全部图纸也无法生产出来，这纯粹是瞎扯，很多人把荷兰的光刻机太神话了。如果是这样的话，那美国为什么禁止荷兰向中国出售高端光刻机？这几年中国的创造力已经让美国开始忌惮了。凭借中国坚韧不拔的精神，国产 5nm 光刻机离我们不会太远。

知乎用户 Fan Cheng​ 发表

@鼎天立地

的这种有暴论化入关倾向的回答，还是需要慎重。一是军事科技与民用科技二者没有本质冲突；二是海军强大、军事霸权无敌的想法在一二战前的德国，勃时代的苏联也是一样，但短期内实力的骤增都没有换回长期的发展和垄断地位。

究其原因，一味把技能点加在军事科技上并盲目扩大军队规模，并不能保证自己立刻成为新的全球霸权。军队庞大对于国家财政的负担是需要国内经济来承担的，一旦像苏联一样过度投入效果可想而知（当然我国目前军工研发不足，军费开支合理，如果再进一步促进军民技术转换则更好）。再者一旦失败，即使是十个航母战斗群也是如同日德兰海战后苟在军港内的德海军一样，庞大而无用。

另外对于航母比光刻机简单的多这种说法，我不知道是从何而来。现代军事工业的集大成者，小至半导体器件，大到燃气轮机，也无不是各个行业的明珠。但相比较于光刻机源源不断的芯片制造能力可以快速转化为经济价值，航母的作用是在于保障国家海洋领土安全和海洋贸易，过量的航母我不觉得有太大用处。

再者历史上爱搞扩张，种族灭绝和全球贸易霸权的国家，中国从来不在其列。军事实力的增强也好，民用技术的进步也好，都只是为了保证自身的公平贸易地位而已，毕竟勤奋的可怕的民族。

知乎用户 南波湾 发表

中国研发的光刻机不一定非要赚钱吧?

现在还以自由市场的思维来考虑问题显然不太合适了，你必须从整个产业链的角度来思考问题了。

整个半导体的产业链价值上千亿美元，未来十年内能达到上万亿美元。

产业链的特性在于：

你如果缺失了其中任何一环，就随时会面临整个产业链断链的风险。

这也就意味着，如果没有光刻机，现在上千亿未来上万亿美元的市场你可能一分钱也吃不到。

对美国来说，光刻机可能只是一台 1 亿美元的机器，但是对中国来说，光刻机就是一台价值上千亿美元的产业链。

现代工业的特点就是大规模的复制，如果你有能力造出第一台，以后大规模复制的成本就能降低很多了。第一台造出来了，后续的优化改进就不是大问题了。现在的问题是中国有没有能力造出第一台先进制程的光刻机，实现从 0 到 1 的突破。这需要人才、需要创新、需要巨额的资金投入。

现在的资金投入规模不是要看造出来的光刻机能不能赚钱，而是要看能不能让整个产业链实现正产出。如果评估之后没有问题的话就果断大胆的投资吧。如果不能的话，则要相当慎重了。半导体产业链之外还有其他的产业链，不能让一个半导体产业链拖死其他产业链。

不计成本的投入显然是不可能的，关键要计算好成本的边界在哪，然后在这个成本范围内评估成功的概率，最后决策。个人认为，这样才比较科学。

知乎用户 梁明哲​ 发表

光刻机是人做的，不是神做的。

———某大佬回应张仲谋

知乎用户 菩提风 发表

中国有可能研发出成熟的光刻机吗？如果能，要多久？

若是 100% 国产化，目前还不可能，如果能，可能至少需要 20 年。

若不追求 100% 国产化，目前已经有了，90NM 制程的，光刻机，很成熟。

若是说的成熟是 7NM 才算成熟，那么现在没有，如果能估计也得 20 年。

超精密设备的底座，有可能是需要整块质地均匀的花岗岩切割出来的。切割打磨之后还要放 N 年，释放内部应力，只要移动了还得再放一年左右不动他，因为移动吊装又会产生应力。

那么大那么厚的底座，只要有一丁点变形，管你做 CPU 还是发动机叶片都做成废品。

（据说也有用整块金属的）

不管是发动机叶片，还是芯片。超精密之后都得这种底座。

底座释放应力的时间根本省不掉，就算现在我们掌握全部技术，可以生产全部零件，也得等底座就位。

（底座这一段不一定是正确的）

知乎用户 加州油管​ 发表

5 年内中国量产 14nm 光刻机问题应该不大。

首先，为什么光刻机技术被少数几家欧美企业垄断？因为光刻机并不像大宗商品或者工业设备机床等需求量非常大的商品，对，没错，光刻机也是商品，只要是商品，它就具有市场的属性。

因为需求量小，每年世界需要新增的最先进光刻机的数量可能还没有万吨轮船多（未考证），因为只有高端芯片才能用到最新制程，其他一些芯片几年前的机器就够用了，而且单位产量是高端芯片的好几倍。

另外一个属性是基于需求量小诞生的，由于采购光刻机的代工厂就那么几家，所以代工厂的配套包括技术人员，操作人员，生产线等都是围绕他们自己的生态建设的。这就导致一个封闭生态，就算国内有同等技术同等性能的光刻机供货商，只要价格拉不开差距，或者政策上的扶持（或者现在的制裁）依然很难打破原油代工厂的采购链条。

高端光刻机性质类似于 航发 高端机床 等我们有了，国外供应商统统得饿死

知乎用户 胖胖安​ 发表

當然能。
物理原則不會因為國籍而改變。
其實高科技產業在市場結構上有個特點：一定會形成壟斷市場或是寡頭市場。
這是一個充滿「細分壟斷市場」的行業。
每一個環節，幾乎只有一個或是兩個廠商。
因為整個生態系的特色是：
初始階段：高資本、高風險投入。
運營階段：高產出、高毛利、超低變動成本。
請各位注意「超低變動成本」。
過去因為這項，不會有腦袋正常的資本進入這個市場。
先進者可以同時打「品質戰」及「價格戰」
奈何美國這次賭上高科技產業。
強迫中國廠商進入這類市場。
只要德國、日本保持表面中立。那光學、化學的問題不大。
接下來的試誤會需要五到七年時間。

知乎用户 甘都德 发表

“成熟” 对应的规格要求是什么？

套刻精度多少？WPH 多少？Up time 多少？Cost of ownership 多少？

如果规格宽松的话，说不定现在已经有了。不过你们想做光刻机的目的是什么？是为了客户能得到更多利润？可别烧了钱做出一个更烧钱的机台。

关于时间问题，进去过 12 寸 fab 的应该知道，ASML 光刻机除了自己的 logo，还有另一家公司的 logo，这家公司是成立于道光二十六年的卡尔 · 蔡司。

知乎用户 asfd asf 发表

28nm 的光刻机两三年肯定出的来。这世界上不存在什么技术，只能被某个企业掌握，不能被其他大国无法掌握。如果有，一定是因为合作更有利，其他国家不需要再重新发明这个技术。。。。

各位但凡对科技史有了解的，就应该明白，这世界上对大国来说，从来没有什么东西叫技术门槛。只要技术路线被证明可行，任何一个大国都能做出来，即使核弹。。。

肯定有人反驳，比如苏联当时做不出媲美东芝的机床？原因很简单，因为苏联当时的需要补的其他坑也很多，所以不可能在机床这个方向投入太多的资源。。。。

每个国家不可能把所有科技树上的坑填满，总得有一部分去依赖其他国家。。。

光刻机事实上，已经影响了国内半导体数千亿美金的市场，而且在台海统一后，在面对国外封锁极端条件时，影响可能有上万亿美金。在这个优先等级上，中科院等国家技术力量必然入场，光刻机突破仅仅是一个时间问题。

知乎用户 匿名用户 发表

谈到这个问题，说两个事实：

1 2008 年签约某飞，国家投了 2000 亿，信誓旦旦，2011 年中国大飞机首飞，2014 年量产。截止目前，十多年过去了，ARJ 都没量产，还毛线 919。预判吹牛，毕业违约。

2 2014 年入职某所，有专门搞光刻机部门。问能搞出来不。答曰：能搞出来他还离职个 P。

从事研发工作多年，可以定论，20 年内干到 7nm，连可能性都没有。没错，完全不可能。其实，20 年很短。。。

知乎用户 宏民​ 发表

上海进博会期间参观 ASML 阿斯麦尔的展台，当时华为等企业芯片供应形势已经很严峻，很多人围在 ASML 展台聚精会神了解光刻机，工作人员说，在中国他们的光刻机有 700 台，2020 年，新进了 100 多台。

知乎用户 china1198bak 发表

五年内实现 28nm 半导体设备仿真软件配套材料全产业链，其中就包含适用的光刻设备，，，以近期华为造访中科院及几个顶尖大学受到的最高规格接待看来，国家已经下决心，以此次美国禁运为契机，以华为为中心，集合全国科技力量来补齐半导体产业链短板，建设自己的先进生产线，华为最大的价值就在于其从事过基础科研及应用科技，并将二者完美结合，证明了其高超的科技组织能力，多年以来，中国始终未能在半导体全产业链上有显著进展，原因是参与国际生产，很多关键环节的设备软件都是买的到，买更符合经济规律，并不是不能做，超高纯度的化工品真的那么难生产吗？没试过怎么知道？任务分解下去，大家各司其职，一定能解决，美国半导体设备胜在稳定经过验证，半导体 以前厂家不愿意用国产设备，没用到就不会有进步的机会，其实美系半导体设备在芯片临近物理极限的这个时期，这些年它们并没有多少进步，28nm 全产业链一定能在短期内实现的。

知乎用户 低头路边捡钱 发表

周日加班

忙里偷闲

文不对题

。。。。

很难

除非我们宣传口抛弃那种 “辛苦攻关 青年担当 安贫乐道 国产便宜一半以上” 这种 low 逼口气

我们科研狗就不能躺着数钱 ？

我们科研狗就不能合作共赢？

我们科研狗就不能数钱数的手软？

。。。。。

知乎用户 一叶不知秋 发表

拼多多上已经有啦

（图片来自微博 @很多沙雕，我最近的快乐源泉哈哈哈）

知乎用户 看看 发表

5 年生产出 EUV 光刻机没问题。ASML 花了十几年接近一百亿美元才生产出 EUV 光刻机。中国是后发跟随研究，可以避开很多试错成本。也不是从零开始。现在 EUV 光刻机的激光过滤晶体是中国独家生产。只要钱到位，5 年没问题。

但有了光刻机不一定能解决所有问题。生产线调试和控制也是技术活。就像有了好车床，你也不一定能加工出高精度零部件一样道理。

知乎用户 babyquant​ 发表

概率肯定大于零的。

有人举军事的例子，但其实军用反而是最容易的，因为类似计划经济，生产什么军队都得买。而且军用没有太多产品细节要求，能用就行。而且军用对芯片要求不高，没理由一边打仗一边玩游戏。

民用就就复杂了。消费者觉得不好可以不买，或者买替代品。因此不能强买强卖。

而且民用涉及各条产业链，现在的很多国产 90nm 本质上中间环节很多还是进口，如果跟美国发生剧烈冲突，比如台海战事之类的，一条产业链断供几个环节，那就没法做了。

之前美国制裁华为，大家都说芯片 100 个环节随便断一个华为就不行了，结果真的把荣耀出手了。

还有一点，就是如果中国可以粗糙地满足军用，那么政府投资芯片的热情就会大减。军用本身就要求不高，全部环境国产替代，勉强够用，政府就停止资助了。剩下的由于国外过于成熟，资本市场不愿意资助，反而就更凉凉了。

自动驾驶不大一样，因为国外也不成熟，所以国内资本愿意资助。人工智能同理，国内外同步发展，而且都能盈利，大家都资助。新能源国内还领先国外，就更资助了。国内最惨的行业是国外成熟国内不行的，难以商业化，公司没钱，工匠更没钱。

当然，正能量一些，中国人聪明，勤奋，人多，国外做的出来，国内也做的出来。关键是需要资本不断投入，花 1 万亿研究出的东西只卖 100 亿，有这雄心，肯定可以成功。

知乎用户 xxxxxzj 发表

求求你们别喊了

光刻机哪有那么容易做

光刻机做出来也还有一系列配套的产业跟不上

就一个 eda 都能卡几十年

其他的材料就不说了

知乎用户 石大小生​ 发表

之前发布的中科院研发的 5nm 超高精度激光光刻加工方法的主要用途是制作光掩模，这是集成电路光刻制造中不可缺少一个部分，也是限制最小线宽的瓶颈之一。但即便这一技术实现商用化，要突破光刻机巨头荷兰公司 ASML 的垄断，还有很多核心技术需要突破，例如镜头的数值孔径、光源的波长等。况且这一技术目前还在实验室阶段。

按照制程，光刻机工艺可以分为 180nm、90nm、65nm、45nm、22nm、14nm、7nm 等。根据外媒报道，在日前的 ITF 论坛上，与全球光刻机巨头 ASML 合作研发半导体光刻机的比利时半导体研究机构 IMEC 正式公布，ASML 对于 3 纳米、2 纳米、1.5 纳米、1 纳米，甚至是小于 1 纳米的工艺都做了清楚的发展规划。

国内的光刻机到底在什么水平？一位半导体产业界资深人士对 AI 财经社说，目前可以实现 180nm 制程，但还在试用阶段，仍需要攻克。

一位光刻机行业人士曾对 AI 财经社透露，据他了解，目前上海微电子仅有一台尚没有量产、能做到 90nm 制程的光刻机，使用的实际上是海外 20 年前的光源技术。

在国家 2008 年启动的扶持芯片设备的 02 专项中，光刻机是花钱最多的项目，一投就是 10 多年，为什么一直没有做出追赶世界潮流的先进产品？

前述半导体行业人士称，这并不完全是技术问题，而是产业环境问题。在华为事件发生之前，国产设备一直处于鄙视链下游，客户都不愿意配合使用和测试。“送给别人用，人家都不愿意花时间，天生觉得你不行，在那种状态下，干着都没劲。”

社交媒体上，有疑似上海微电子的员工留言说，2015 年曾给国内某芯片制造厂送了一台样机，最后机器一直放在厂房里成了一堆废铁。

但在华为事件的催化下，国内厂商都看到了芯片被卡脖子的严重后果。前述半导体行业人士观察，这两年光刻机的进展快了很多。“被逼到绝路上的时候，大家都拼命帮你做，这和你自己干的劲头是不一样的。但是光刻机的进展肯定不会那么快，总体来说得一步步地往前走。”

知乎用户 hope 发表

对于我国来说，半导体领域的发展，光刻机并不是首要突破方向。

半导体总体来说分为逻辑电路，光电器件，功率器件和传感器，其中逻辑电路主要是处理器和存储器，存储器至今停留在 40nm 附近，只有处理器尤其是手机处理器才需要追求那么高制程。很多厂商的 28nm 线依旧有着非常好的盈利。

从产业来看，半导体分为设计，代工和封装测试。半导体设计行业我国有著名的海思，相对而言发展的比较好，当然设计也是发展比较容易一块，投资相对少。

代工主要是代工厂比如华力微，华虹 (我举例一些国字头的，所以没算中芯) 以及配套的材料 (一些特种气体厂商和硅片厂商) 和设备(中科微等)。其实我国在生产材料和设备这两个领域非常薄弱，尤其是材料，电子化工品和特种气体，光刻胶等，都是基础但又被垄断产品，君不见日韩贸易战三星那么强大号称有整个芯片生产线的 idm 被卡死在电子化工品上。设备的话，我国 12 英寸 28nm 的硅片基本需要进口，目前也有不少厂商已经在试验国内硅片，以及光刻，cmp 设备，cvd，pvd，实在太多，说实在，在制造半导体上很多泛用设备的自我研发能力不足才是目前国家最重视的，在总投资有限的情况下，不太会专注于 7nm 光刻机这种，把钱投到其他方向更有用。

封测方向，无锡长电近年来发展迅速，当然和日月光这种龙头依旧有差距，但是势头在那要有信心我们能在将来赶上来，能接近，因为封测相对技术和资金成本低。

所以，大家千万别把光刻机当成是半导体的代名词，虽然光刻机是芯片制造中最难公馆的一个，但半导体行业比你想象得要大得多，仅有了光刻机，也不是能够造好芯片的。

真正要自立自强是要参与到核心产业链中，全球合作，并且扮演起不可或缺的角色。像日本那样虽然芯片制造被韩国超越，但人掌握半导体化学品这一命脉。

知乎用户 三万公子 发表

先讲个故事。

1998 年 7 月，广州本田公司成立，它专门为引进雅阁汽车而生。

当时生产线的基础是广州标致，破败不堪。

本田公司负责人门胁轰二，拒绝了中方进口原装生产线的要求，坚持在原生产线上进行改造，把原装的大量自动化设备以人力代替，充分发挥劳动力成本优势（他同时引进了日本本田的工人们，在日本，他们因为机械化被淘汰了）。

这条生产线引进花了 20 亿元，只用了 9 个月就达到年产 30000 辆。

在不远的湖北，1995 年，东风汽车和法国雪铁龙合作成立的神龙汽车武汉工厂开工建设。

为引进当时风靡欧洲的雪铁龙 ZX 汽车生产线，原装进口了法国全套设备，花费近 100 亿元，是本田的 5 倍。

雅阁的利润远远高于富康，神龙汽车和本田汽车自此走向了不同的道路。

2019 年，神龙汽车完成销售 11.36 万辆，广汽本田全年销量 77.08 万辆。

类似的事情也发生在 2019 年。

武汉弘芯花费 5.8 亿元，引进一台号称能生产 7 纳米芯片的 ASML 光刻机。刚落地，就被抵押到了武汉农村商业银行，连封都没拆开。

正如林毅夫提出的观点：产业发展还是得跟当地的要素禀赋结构相适应，没有跟这个技术相匹配的要素禀赋，引进了也发挥不了作用。

而研发不仅需要不计回报的长期资本支持，更需要时间。这个时间恐怕不是十年二十年能完成的。

[

中纪委推荐：林毅夫解读中国经济 (精)

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知乎用户 熊议会 发表

这本来就是技术流动的霸权问题，应对的方法不应该是反击霸权的痛处吗？怎么会变成霸权捅我一刀，我非但没有还击一刀，还转头琢磨只要造出它那把纹案的刀就解决问题了。

刀叉剑戟都要会造没错，但能造对方特定的凶器，就妄图止戈，这显然是搞笑逻辑。

光有了刀叉剑戟，也要学会用啊，外贸都第一大国了，美国都长期前二交易量了，定点清除和连坐式打击制裁还不赶紧操作起来吗？

谁搞反华提案，不要放台面制裁他，台面只制裁傀儡，幕后金主要实打实的制裁，具体制裁谁？当然是和这些金主做生意的任何国家的任何组织和个人啊。

而且，还要学会妖魔化这些金主，要把各种恐怖袭击的罪行，种族歧视的罪行，作奸犯科的罪行创造性的挖掘证据按死在他们头上，还要联合其它苦主通缉这些金主，还要舆论宣传这些金主的舆论机器在掩盖他们的罪行，要天天讲月月讲，搞黑搞臭一批美国金主。

几年过后，你再看看效果。

美帝金主从来没有机会曝露在中国这样体量的国家机器面前，你不试试，他们纸老虎的真相怎么能被戳穿呢？

知乎用户 聪大大 plus 发表

之前打了草稿，没写好就不发了。但因为写了草稿就关注问题了。本来不想写的，但看到的答案都是什么玩意儿。

特别是那些落后几代，就时间累加。搞 fba 的人会跟你说某某技术，国产的与国外的有多难。

难道中国的希望是放你身上了？除了能证明你没有改进的能力，并没有能证明中国做不出来，或者说这几年做不出来。

在已经有前人做出来了，需要的就是砸人，砸钱。不断试错。多工艺齐头并进。时间大幅度缩减

其实我是乐观派。我比较认同代谢增长论，新区域中心取代旧区域中心

芯片制造作为基础硬件与上层应用及服务的基石，完全称得上工业化信息化的制高点。芯片制造安全可靠，工业化信息化才有保证。

所以，国家十分重视半导体制造产业。

特意搞了 02 专项和成立国家集成电路基金。

芯片制造之所以门槛高，主要是因为利润是倒金字塔。

意味着进行就亏损，一亏十几年很正常

光刻机主要有荷兰的 ASML，日本的尼康，佳能。中国的上海微电子装备集团。大家都知道高端光刻机完全被 ASML 垄断。而尼康主要集中在 ArFi 和 ArF 之前的光源，佳能则在 2010 就退出了 ArF 领域，做做低端机。

而上微则传出 21-22 年下线第一台 28nm 制程的 IC 前道光刻机。没意外应该是 193nm 线宽 ArF 光源干式光刻机。我一度以为是浸入式光刻机，可惜了。那还得晚半到一年

你别小看这台 28nm 国产光刻机，如果真能下线，上微将会成为世界第二，仅次于 ASML 的厂商。

目前国内光刻机主要是两个部分还要攻克。一个是光学系统，一个是光源系统。

ASML 的镜头组是德国卡尔蔡司，2016 年，ASML 以 20 亿美元入股卡尔蔡司，合作研发 EUV 光刻机的镜头组。为了降低能量损失，镜头组精度要求达到万亿分之一米计。

国产的光学系统是由国科精密研发的，长春光机所与上海光机所入股了国科精密。基本是国内最强光学研发机构。然而研发成品达 NA1.35 级也只能支持到 7nm，预计用在上微的 SSA800 型 193nm ArF 光源浸没式光刻机上。但 EUV 穿透性强，不能再用传统光学系统，要重新开发，目前不了解进度。

但可以知道，光学系统不是制约国产工艺挺进 7nm 的因素。而且与国外差距也不算得上很大。只要解决了 EUV，基本就持平国外了。

下面是光源部分。光源部分与国外差距十分明显。已知光源部分商用方案的就提出了三种，即 LPP，LDP，DPP。目前主流方案是 LPP，全世界只有两家公司生产，美国的 Cymer 和日本的 Gigaphoton。ASML 光源自然来自美国的 Cymer 了。先不说中国不能买，即使允许买了，Cymer 也已经被 ASML 收购了，独家供应。而 Gigaphoton 则与尼康合作，苦于资金，商化等还停留在实验阶段。

而国内 EUV 光源倒是很多，如科益虹源，但了解的不多，华为全资子公司哈勃投资已经入股了。哈工大倒是搞出了原试验 DPP -EUV 光源。长春光机所就是基于哈工大的光源研究 EUV 曝光机。目前透露着，有重大进展。

所以，有一些研究院所属的学校上了美国的 “实体清单”。足以看出国产的实力。

我不是盲目的自信。而是科技发展在不断减速，走别人的路自然会走得更快。一减一增。ASML 前前后后花了二十几年，中国减半不是问题。

当然还有一些搞其它的，另辟蹊径试图弯道超车，包括著名的英特尔，北京第四代光源研究就是与英特尔技术同源。但这路可不好搞。不然英特尔不会卡在 14++++ 上了。

其次，LPP 技术虽然商化了，但仍然不能证明是最优解。因为 ASML 也没有将三大难题完全搞好，即，稳定性，污染，高耗能。稳定性应该做好了，不然台积电根本搞不了 7nmEUV。至于污染与高耗能就没办法，成本高点也能搞。本来 EUV 理论路线就是为了降成本搞出来的，结果用了 LPP 成本还高了。所以，其它方向皆有可能，万一真的突破了呢！

国内是全方面研究，即也有弯道超车的可能。目前主要是上海与北京光机所进行前沿研究（没办法，高校集中点）

还有其它技术就不一一介绍了。因为比 EUV 光源好太多了，不是阻碍力。而且能商业盈利。

最后就是，中美开打，加速资本流入芯片制造产业链。金融改革与金融开放也加大了市场资本的支撑。5.14 后也迫使华为投资研究机构，加速孵化。

哈勃投资近期挺忙的

所以，国内的虽然落后，也并不是完全空白，中国作为具有完整工业门类的国家，每个行业都能找到相关 / 间接相关。更重要是，在国家 02 专项下，很多关键技术节点都在被攻克。无论是光学与光源系统，都处于快速追赶及布局弯道超车。乐观估计，3-5 年内国产 7nm 不是问题

拿 ASML 花了二十几年搞 EUV 来推测中国要十几年，这不是刻舟求剑？

总结。国产产业链足够威胁国外了（制裁警告），三五年，真的等得起，7nmEUV 也够用，而且台积电 2nm 基本是极限了，不进步，肯定被追上。我了解后反而觉得，代工这个，还是有希望的。当然搞出来距离投产商业化还有最后一段路。这时候，中芯的价值就出来了。

国家给我们交出了一个全产业链布局的答案。紫光集团，京东方，中芯，上微。以及统筹各高校研究所。02 专项与大基金作为资金支持。

莫名其妙被挖，突然就 99 + 赞了。这篇算是我花大力气收集的信息。

重视肯定重视，包括 145 都仍在规划。不过因为重心没有放在芯片制造上，因为已经布局得差不多了，没必要在 145 继续加码，保持着政策就够了。

5g 时代的重心是什么？

凭什么 5g 能改变生活？4g 就不能？

非常好，这个问题值十几万亿刀

也是 tg 的重心。（这个绕口，慢慢理解）谁先搞出来 5g2b 模式，谁占领了上甘岭。5g2b2c 与 5g2c 又是啥？为啥 5g2b 搞出叫占领上甘岭，5g2b2c 与 5g2c 没 5g2b 重要吗？

这模式大概方向有吗？这就为什么 145 上，芯片产业仍然没有放在首位的原因。

在分工越来越细分的年代下，

你现在觉得科幻的，只存在电影上的生活，就是现在科技努力实现的方向。

这个将左右未来几十年的格局。而传统的芯片制造，无法突破，将止步 3nm / 商业成本止步 3nm。能左右多少年？

还有你凭什么觉得别人在努力在扩大 EUV 的优势？这条路早晚被追上，所以别人在想着换赛道呢。无论是新基质→材料，还是新方式→量子计算机，还是新工艺→堆叠一体。每个赛道都在穷追猛赶

知乎用户 Slender​ 发表

我觉得目前问题其实不大，只是没有那个需求去做。

首先中国是有光刻机的，我记得好像是 90nm 的光刻机，这个水平说高不高，说低也不低。（差不多就是奔腾的水平）

足够一些工程上军事上的计算就够了，不需要那么好的 cpu。目前为止能生产光刻机的也就那么几家厂子，Intel、尼康什么的，能生产 7nm 的只有荷兰一家厂子。其实大家都是佛系的，够用就行，至于拿出去民用市场买的，交给一家厂子去做就行。

讲道理，荷兰那家做光刻机的厂子收到的投资和赞助能有中国在计算机领域每年科研经费的一半么？估计是没有的。当年做 7nm 的光刻机其实也是 nvidia 和 amd 还有 intel 啥的给的投资研发的（当初研发需要的经费实在是太多，ASML 实在是自己承担不起，但是 intel 这些做芯片和处理器的公司一看这不行，于是众筹了一下给 ASML 的钱做的研发），难道中国的科研经费差这么一点？

就像埃隆马斯克做火箭一样，除了先前美国的技术积累之外，有什么东西中国比不上的？只是战略目标不同罢了，我们就算做出来了可回收的火箭，那又有什么用呢？讲道理，我们在意吗？我们有自己的一套预算，有自己的发射计划，不需要通过研究这样的技术去削减预算，这就是为什么我们不去研发这个东西的原因。

要是说光刻机和火箭的技术差距我相信是远远比不上中美之间飞机引擎的差距的，就这样中国还是在大步追赶美国的引擎制造技术，每一次新的一代发动机的诞生都能缩短 10 年的差距，这就是中国真正想追赶的领域，要说中国真的想打破技术垄断，做一个 7nm 的光刻机，想必也就是十几年或者更短的时间吧。

总的来说，中国目前可以制造的光刻机就已经是成熟的了，目前不需要更好的光刻机了，如果真的想要赶超荷兰，可能也就是十几年的时间吧。

有人可能会错意了，我说的没需求是指没有那么急迫大力发展的需求，虽然现在芯片产业对于光刻机的依赖很强，但是中国目前在最基本的领域没有对光刻机有那么急迫的需求，具体可以看一下国防投入和科技投入就明白了，对于中国来说，世界合作永远是趋势，中国对于光刻机的需求可以交给类似台积电这样的企业，但是相较于航母战机这样外国封锁的科技来说，光刻机的需求实在是太微不足道了

知乎用户 物理微电子前沿 发表

你好，希望我的回答对你有所帮助！

中国已经研发出光刻机，目前最先进的国产光刻机当属上海微电子设备的 90nm 光刻机，据说 2021 年到 2022 年会有 28nm 的光刻机交付！目前使用的光源是波长为 193nm 的光源，正在研制的 28nm 光刻机是属于第四代光刻机，而荷兰 ASML 在量产的第五代光刻机用的光源波长是 13.5nm 的。

你说的成熟的光刻机是指最先进的光刻机吗？如果是的话，我只能说国内目前只有两家单位在搭建 EUV 光刻机，而且都是中科院下面的所，国内某 C9 国重在 EUV 光源上取得了突破，只不过功率没有 ASML 的高，但是解决了从无到有的问题，接下来就是优化的问题。

集成电路从一个二级学科成为一个一级学科，又进一步的走进十四五规划的文件种，这种重要性不言而喻，所以能研发出更高端的光刻机是必然的，因为中科院从 1965 就开始研发光刻机，第一代光刻机是接触式的光刻机，1980 年的时候，清华大学研发出第四代光刻机，那是能达到国际先进水平，离最先进的差距不过三四年，只不过当时国内的环境 “造不如买” 的观念影响了当时的研发，所以中国一直卡在 193nm 光源。所以能研发出光刻机是必然的，时间大概不好说

我之前写过一篇文章 “卡脖子技术之 1—- 国内外光刻机水平差距介绍”，不过不在知乎里，需要的朋友可以去 VX 考个古，里面详细介绍了光刻机的自动化程度、不同的光源、从第一代到第五代的一些情况，国内外的一些光刻机的研发公司的进展，以及国内与国际先进水平的差距，在这就不赘述了。

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知乎用户 枫叶戏雨​ 发表

好家伙，众多工程师，学者，参与研发的人员都不知道什么时候能研发出来。

国家也只能给钱给人，不知道什么时候能研发出来。

居然来知乎提问，你当知乎用户都啥人啊。

知乎用户 haha kim 发表

肯定能。

光刻机难道比原子弹还要难搞吗？

原子弹当年连一张图纸都没有，只知道基本原理而已，现在 EUV 国内可有好几台呢，无非是制程上还有差距。

现在搞光刻机也许人才还有点不足，但当年连大学生都没几个。

1960 年全国大学毕业生总共才十多万，2020 年全国大学毕业生有 870 多万。

每年几百万的大学毕业生足以保障任何科研所需的人才。

再加上国家在不断加大投入，以及国内所能提供的庞大市场，唯一缺的就是时间了。

到时候，台积电也好，ASML 也好，统统都得完蛋。

知乎用户 Steven 汤圆 发表

有句话叫：追赶容易，超越难！

成熟？什么样的才算成熟？中国已经有成熟的光刻机，只是超越世界上最先进的还有点远，仅此而已，难道说中国光刻机技术不成熟？

曾经引以自豪的核弹、卫星、J20 无不是追赶状态下获取到关键资料而取得的成功，所以，这个世界上以中国庞大的科研人员，有关键技术资料（不管是文档、核心人员还是成品逆向）没什么不能做出来的。

追赶者优势就是不用摸石头过河。

目前最先进的光刻机技术仍然是缺少一些关键资料，所以，解决这些问题耗费些时间，基本没啥问题，科研人员可以挖、成品可以逆向，钱也够，成功几乎就是必然的，目前缺的就是时间。

至于多久，我也不知道，目前的进度，无法获知

知乎用户 刘一麟 发表

哪种光刻机，荷兰那种顶尖的？要我说根本不能，三五年之内想也别想，十年八年也不好说，不过，现在这个时间点上，这还算多大点事吗？

知乎用户 qstwangxxrr 发表

这个做到商业化很难，比如阿斯麦的光刻机每天可以生产 1000 片，而你废了半天劲只能生产 500 片，想一想这样的光刻机再市场上有销路吗，肯定没有。这是很多公司下马 euv 光刻机的原因。但是现在的情况是，我们根本不可能买到阿斯麦的光刻机，怎么办。只能自己研制。当然也不是重打起鼓另开张，肯定要应用国内的成果。150w 的 euv 光源，双工件台，国产的曝光系统，国产的浸没系统。也许这样的光刻机还不能生产 5nm，但也行了。从集成的角度看，华为的力量肯定比上微要强，而且动力足，还是自己用。所以华为自己必须要上马，这是生死存亡的战斗。在使用中各种部件还需要迭代发展。也可以促进整个产业链的发展。

知乎用户 梦里千百度 发表

其实不需要制造出光刻机！

只要再半导体产业链上面任何一个环节取得垄断地位（只要这个行业就必须要有这个设备），美帝的制裁就是镜花水月。

现在为什么美帝可以制裁你，因为半导体行业你没有话语权，没有知识产权，没有专利，你没办法反制别人，打断整个产业循环，光有市场有什么用。

华为为什么牛，因为华为拿了这么多知识产权，专利，多个行业标准制定者

知乎用户 future​ 发表

整个 IT 体系的问题，单点突破有意义但仍然无法解决技术封锁的问题。

光刻机并不是没有，只是落后而已，问题是落后便也罢了，也找不准自己的定位。

以龙芯为例，龙芯做出来也快 20 年了，这 20 年手机换了多少代？智能电器、路由器、电视、NAS 等等多少对制程、性能和操作系统要求都不高的产业都做起来了，为什么没龙芯的影子？为什么这些产业给了大把国产芯片的机会，都没有国产芯片崛起？？？

如果没有产业定位，现在再着急高端光刻机有什么意义，就算最先进的光刻机造出来了，一个是市场接受吗？市场经济是无法强行让市场买单的。一个是能摆脱技术封锁吗？操作系统怎么办？EDA 软件和工业软件离消费者太远，但 Windows 和 Android 几乎所有消费者都在用，操作系统不让用了怎么办，你们都能换系统？所有行业都能换系统？

知乎用户 季玉明 发表

网络速度越来越快，我们真的很需要这种独立的数据计算芯片吗？

大胆预测：因为芯片制造被围杀，中国点亮了科技树上奇葩的一枝——城市处理器，大部分个人终端不再独立装备中央处理器，所有计算上交云端，个人终端只是一个交互系统。5G 时代可见雏形，6G 时代整个系统成熟。

知乎用户 一碗米饭 发表

cpu、操作系统 搞了 10 几 20 年了，搞出啥了？

龙芯 3a5000 也就 intel 12，13 年的水平

操作系统就更不用说了，在 linux 上搞搞，顶了天也就 ubuntu 的水平

光刻机这种，到 2030 年，跟 asml 相差 5 年以内，就该烧高香了

至于华为，手机业务消失，基站业务消失，能不倒闭就不错了

知乎用户 洛克船长 发表

对于产业链齐备的中国来说没什么不可能的。甚至更有优势。

光刻机的利润虽然高，但市场其实非常小，就那么几家需要。这意味着如果单纯从商业角度来考虑，其对先进制程的投资风险相当大。

一次先进制程的研究失败，就有可能倒闭一家历史悠久的企业。

但如果是中国政府来搞这件事，那就无所谓了，因为这不是追求利润的商业行为，而是一种国家行为。有国家统筹兜底，研究企业无需担心试错成本，只要做出来就行。

更何况光刻机是一项系统工程，它涉及到精密机械，精密光学，精密化学等，对它的研究可以带动一大批企业的技术进步。从国家的角度来说，也是一件值得推动的好事。

很多人说国产光刻机因为技术落后在市场上会缺乏竞争力等等，这个其实很搞笑。asml 的光刻机倒是有竞争力，可人家也得卖给你才行。川普已经给我们筑好了贸易壁垒，根本不存在什么竞争。只要国产光刻机出来，市场前景很是广阔。

所以一旦我国下决心搞光刻机，就一定会搞出来。只是时间问题而已。

我觉得 14nm 制程的话就在这几年吧。至于国产 7nm 制程则可能永远不会出现，因为今年碳纳米管排列工艺取得了突破。如果按这个速度发展下去，10 年左右就有新工艺了。

知乎用户 炙日​ 发表

简直看不下去了，普遍悲观的一塌糊涂。

要以发展的眼光看问题！！！

依旧清晰的记得 2007 年，国产大飞机被卡脖子，被迫立项 (军用运输机、水上飞机、民用客机)，当时好多人遗憾早年运 10 下马事件，觉得大飞机遥不可及。然而 2013 年运 20 试飞，2019 年 C919 试飞，今年 AG600 试飞，大飞机已经不再或很快不再是一道枷锁，13 年很久，13 年也很快。

今天的光刻机是同样的问题，要从发展的眼光看待问题，只要我们需要，就一定搞得出来，具体多久搞出来，那要看紧迫程度、国际环境、应对策略。

我不懂攻克技术难关与工艺难点要多久，但如果中美继续加剧恶化，国内这个巨大的市场完全可以迅速催生出完整的半导体高端产业链。

就一点，商务部直接把国外半导体产业链的各家公司列入不可靠实体名单，使用这些家公司产品或技术的产品禁止在国内销售，你猜会发生什么？

立刻会有大量中下游公司转向国内外其他供应商，7nm 的做不了，28nm 不是没问题吗，以前是公平竞争，我们工艺竞争不过对方，市占率低，发展缓慢。你要理解什么是社会主义市场经济，需要的时候，可以立刻改变这种状态，可以只让我们自己的工业链条合法占领国内市场。

用不了 5 年 8 年，国内市场就能把整个产业链养起来。

知乎用户 松山野鹤 发表

非行业相关，非职业相关

这个我不懂

可能要投入非常大，时间非常久，大概率会亏钱

那么光刻机这个高科技我们搞不搞？

必须要搞！不搞不行！搞就完了！

真正的中国人都知道！

阴阳怪气劝退的，行业人士说蜀道难的，你们是几个意思啊

知乎用户 海西商界 发表

近日，被业内人士称为 “光刻机第一股” 的华卓精科，上交所科创板上市委会议通过。消息一出，引起国内半导体界一片瞩目。作为国内首家，也是世界上唯二可自主研发并实现商业化生产的光刻机双工件台供应商华卓精科，为何能如此瞩目呢？

知乎用户 主立亮 发表

不管多久，都要做，这不是个经济问题。最讨厌有人说什么做出来没有市场，也是亏钱。都被人家用刀抵住脖子了，还在想着赚钱亏钱的问题，不觉得可笑吗

知乎用户 晓看天色暮看云​ 发表

多年以前，也有人问过类似的问题

当初西方垄断盾构机，我们只能从国外进口盾构机，当时买国外的一台需要几亿元人民币，而且坏了我们还不会修，只能请国外专业人员，而且令人心酸的是，就连维修的时候，国外企业也会拉上警戒线，不允许中方人员进入。如今中国制造的盾构机已经牢牢占据了国内 90% 的市场，不光如此，我们还占据了 2/3 的国际市场份额。有资料显示，从 2017 年到 2018 年，中国造的盾构机产销量都居世界首位。

问我们中国能否造出盾构机，现在那人的坟头。。。。。。。。。。。。啊呸，被中方低价收购的收购合同都泛黄了

知乎用户 冰糖葫芦​ 发表

上海中微电已经造出来了，90nm，明年正式出货。

目前光刻机理论上已经没问题了，剩下都是实验科学和专利障碍，先不考虑专利障碍，咱们只考虑制造。

制造问题，无非是材料、工艺、设计和装备。这些都是砸钱、砸时间的实验科学，制造钱够，不停试错，制造出来只是时间问题。

知乎用户 知乎用户 7K7VRk 发表

直接将台积电充公，收归国有不香吗？

知乎用户 社群宝宝 发表

能是肯定能

但是时间就不好说了

这是一个全产业链的升级

不是说说的就是实现了

美国科技实力强不强？但是美国一家也搞不定

这个需要很多国家和地区的配合，需要相关行业人才的支持

相信未来有一天我国会实现自主生产先进光刻机

知乎用户 Bill Han 发表

我们本来就有这个能力，70 年代就有的，只是后来停滞了。这种工程上的问题不是需要你发明什么，是将已经有的技术组合起来，只要投资到位、组织得力，很快就上去的。特别是，光刻机不是复杂的跨大量学科的设备（我指的是与更加复杂的设备，例如喷气发动机），就如同火箭发动机，如此高科技，但是跨的学科少，就可以快速突破。但是我们造了几十年，完全自主知识产权的发动机就是没搞出来，就因为跨的学科实在太多了，一点搞不定，就拖了整个项目。

知乎用户 瑞恩的夏天 发表

看了很多答案，大家都在分析，相对乐观的回答都在被质疑，质疑的语气给我的感觉好像是中国做错了，什么意思啊，要不要我们放弃所有工业，就给外国做衣服袜子？

中国不需要研发出 ASML 同水平的光刻机，中国只需要制造一个能勉强维持国内需求的就够了，只要保证在全世界都在封锁中国的时候，中国能活下来就行

问题从来都不是我们做不到人家那样先进我们就活不下去，是我们只要有的用，能过维持自己的发展就行了，不会出现一旦某项技术不卖给我们就会一夜跌入谷底的情况，我们要证明我们可以制造出替代品，哪怕是技术比较落后的，让全世界看我们能靠落后的产品咬牙走下去，就看是我们撑的久，还是国外撑的久

我们没有光刻机，但是我们有核武器，我们有航母，有 j20，有东风快递，在能保证国防的情况下，我们哪怕是受到了技术封锁又怎么样，可是很多评论的人恐怕不这么想吧，为什么要如此质疑看好的人？是真的秉持公正的态度？呵呵，不是吧，我看假如真有那么一天，全世界封锁我们，这些人游大平洋也游到人类灯塔去当叛国贼，游不过去的就会天天咒骂为什么还不给丑国跪下，绝对不会跟我们共一天苦

知乎用户 李李 发表

研发出成熟的光刻机是可能的。只要精度要求不高，三、五年就能弄出批能凑合着在生产线上用的低档光刻机，至于想改进到能长时间稳定运行这就得再改进个几年吧。这也是工业设备改进的正常规律。只是这种低水平的光刻机人家不禁运，随便你进口。这就很有趣了。

要研发出技术水平能满足用户要求达到世界主流产品水平，质量足够稳定，能长时间稳定生产不容易出故障，这要过多少年才能做到就是个玄学问题了，反正没哪个专家敢说较明确的时间表，也没哪个专家教授敢说自己能做得到。对于这种没地方抄资料的项目，能花十年时间做出国际一流产品已经是真正的伟大成就了。至于价格就不要指望比国外产品便宜了，这样的高科技东西最初的单台价格不比国外产品贵很多已经是很有良心了。想当年黑鹰直升机有现成产品在手逆向仿制还花了二十多年时间，EUV 光刻机比黑鹰直升机的技术难度总要大吧。

知乎用户 Bang 发表

目前和国外差距 30 年左右

按照目前的差距正常来讲

大投入不计成本全力追赶的情况下

2050 年能够达到和欧美一个水平

在 2050 年以前所有的投入都是亏本生意

预期投入资金在 1000-3000 亿美元

知乎用户 王兆磊​ 发表

大家知道造原子弹最难的是什么吗？？

说起来你可能不信。最难的是：知不知道原子弹可不可以被造出来。

所以当年造原子弹，最难的部分美苏已经帮我们解决了，就是 “这东西可以被造出来”

光刻机亦如是。很多人总在强调光刻机那些鸡零狗碎的东西多么难，难不难，的确难。但不是最难的。只要知道可以被造出来，下面就是堆时间，钱，人。这要是说到堆东西… 兔子可以说那啥我不是针对谁… 当年没有电子计算机不就堆算盘？

我读高中的时候，觉得什么西气东输南水北调三北防护西电东送都是我党吹牛逼。都是 “洗脑”。

知道我最近看到，这些看上去不可能的事情都被搞的七七八八。

在我国，只有鄙党不想做的事，没有鄙党做不成的事。

真想搞，列入五年计划就行了。

知乎用户 木子源 发表

只要下定决心，我一点不怀疑中国不能研发出来，攻破技术壁垒是很难很难，但只要 14 亿人的机器机器运转下来，没有什么真正能难住中国人，不要觉得我盲目自信，看看这几十年年来中国的成果，中国人创造的奇迹还不多吗？

同时，我还有另外一个想法，光刻机中国真的不能研发吗？

知乎用户 李大大 发表

不知道，但是不夸张地说，光刻机成为中国崛起的现实的最大技术障碍。

知乎用户 窦晓波​ 发表

当你也有十个航母编队的时候，你根本不需要研究什么光刻机

知乎用户 来生再见 发表

可以

等到知乎上的 XFH 们毕业了，不再反美，老老实实去抄袭美国人的技术的时候。

或者等到 CFZ 去非洲的时候

知乎用户 老张 发表

没啥研究不出来的，主要是成本和市场

知乎用户 哪里走天涯​ 发表

完全不是一个性质、你知道荷兰光科技的核心部件是美国公司吗、美国能让 asml 分分钟停产，美国半导体刚开始是建立在航空军工发展带动发展出来的，人家已经形成良好循环，不要想没有科技基础就想称霸世界

知乎用户 匿名用户 发表

10-20 年

不要觉得兔子现在怎么怎么差，不要小看人力这个东西，尤其是高素质人力，更何况我们即将拥有全世界最大的市场

别看中国人口老化严重，中国现在光 90 后和 00 后加起来有 3 亿多人，美国加起来总共才 3 亿人。未来我们这 3 亿人都是主力军，一直到 50 年都还是能发挥余热。如果国家现在真的想要光刻机，现在开始培养人才绝对来得及，前提是肯不肯把素质教育普及化。

说实话，中国工业不是差，而是短板太多，各类基础研究都木得，很多研究都得天天翻墙找别人的论文，更可气的有很多还是中国人自己写的英语论文。

对于一个有人力优势的国家，最大的好处就是可以多个项目齐头并进，不要怕失败。新能源汽车本来中国不占优势，现在不也整出相关龙头企业吗？要砸就砸大的，中国老龄化迫在眉睫，在此之前不能完成相关产业升级，老龄化只会负担加重。

关于中国产业升级，要一边跟进潮流，一边补短板，不怕跟不上些许潮流，就怕有短板导致子孙后代的发展受限制。中国现阶段汽车品牌都是老牌汽车厂商一点点积累下来的，有了技术积累才能主动寻找新方向。

回到问题，最简单的北斗用了多少年？现在中国高素质人手远比 00 年来的多，更何况我们相关电子行业人才圈子初步形成，相关配套企业也在迎头赶上。国内市场足够大也有足够多的容错，只要敢砸敢做永远不怕晚。

知乎用户 甄叔 发表

有可能，我立个 flag。五年以内达到世界 2021 年左右水平。

如果国外封锁的在严重点，就是三年。

如果三年内收复台湾，那么就是三年内。

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说这个光刻机比氢弹难的都是扯淡，中国目前的瓶颈是两个，一个是专利，一个是配套设备。

核武器和矢量发动机都能搞出来，别说光刻机了。而且光刻机市场广阔啊，大家想象一下光刻机成本下降，芯片便宜以后能惠及多少人。造福社会。

目前摩尔定律已经触及物理瓶颈，后面的进程有点不可预测，新材料或新工艺可能是突破点。

这个时候就是弯道超车的最佳时间。

知乎用户 王佳林 发表

先说答案，有，而且可能已经是必须了。

不放视频，但是大家可以自行搜索下北京精雕，然后视频搜索严丝合缝、中国制造等。平台上应该也有这个关于中国制造的视频，可以看下。

可能我们平时接触到的高端的制造业不较少，不能完全了解中国制造到底已经到了什么地步了，不过窥一斑而知全豹，从这里我们就可以看出来大概是多高的水平了。

我记得荷兰几年前还做了一件不小的事情，超级工程第二季第一集，有讲解。当时需要买两个盾构机打洞，收购价令人发指，最让人觉得无语的是高高在上的态度分明就是洋大人在说，就你，也配？

于是我们就说，自己做吧。看着不是很难的样子。

那时候大家也是这个想法，要很高端的材料，要很高端的车床，很难做的，不可能做成的。

对了，没有说比原子弹难。结果呢，最后成功的时候我记得是拥有设计图纸 7000 多张，4，50 个设计师日日夜夜，从无到有。

看看数据，四五十个工程师。。。。。。这个数据放在全国估计要被笑死。

所以，不要长他人志气，灭自己威风。

教员说过，封锁吧封锁吧，封锁个二三十年，中国就什么都有了。

14 亿中国人如果要集中精力做一件事情的时候，会是一股令人恐怖的力量。

引用一句挺经典的话：

一个民族总有些东西是不能亵渎的。

天破了，自己炼石来补；

洪水来了，不问先知，自己挖河渠疏通；

疾病流行，不求神迹，自己试药自己治；

在东海淹死了就把东海填平，被太阳暴晒的就把太阳射下来；

谁愿意做拣选的石子就让他去吧，谁愿意做俯伏的羔羊也让他去吧；

谁愿意跪天子跪权臣就让他去吧，谁想不问苍生问鬼神也让他去吧；

斧头劈开的天地之间，到处都是不愿做奴隶的人。

这就是这个民族不可亵渎的东西。

与君共勉！

知乎用户 CRC​ 发表

光电信息专业，只学了点皮毛。光刻机的核心部件之一是光学器件。想起当年学的痛不欲生的光学工程实在冒冷汗。光刻机最重要的性能指标就是精度，也就是我们所说的 5nm，7nm 之类的。做到这么高的精度需要无比精确的镜片，有了好镜片还不够，还需要有仪器去测量这个镜片精度。这还不够，因为我咋知道这个测试仪器本身准不准呢，这就需要计量标定。所以一切的一切都是工程问题，大部分的原理已经是公开，就是怎么把工程化过程中提高精度，这是难点，也是最花钱，最花时间的地方。

上世纪六十年代，没有计算机，没有这么多的理工科人才，我们靠算盘打出了原子弹和氢弹。这个工程化难吧？

后来的核潜艇，黄旭华老先生也是从零开始工程化，最后也造出来了。

现在中国培养了这么多的理工科人才，这么强的工程化基础团队，所以我觉得造出光刻机是迟早的问题，至于是 5nm，7nm，甚至 3nm，只需要留给时间去告诉我们。

大部分的年轻人现在都是唯物主义，唯物主义就不要信什么外国人说中国一国之力造不出来，就真的认为造不出来了。这就是工程化问题，干就完了。

知乎用户 恩恩 发表

光刻机这个东西，被公共互联网神话得魔怔了。

半导体生产是一个体系。

中国缺的可不只是光刻机。

缺的是盟友。

如果中国的敌人是美国，那么就去拉拢欧洲日韩东南亚印度。

即便美国也没办法什么玩意儿都自己造。

全球化和国际分工就是那么回事儿。

可现在的网民，总觉得中国天下第二了，除了挑战一下老大哥，还可以顺便把越南菲律宾日韩印度欧洲全都干翻。

历史上这种事情也发生过。

现在借着汹涌的民意和风头，各大院校和地方政府都纷纷上马各种半导体项目。。股价也都一飞冲天。

赚钱吗？

赚！国家的钱，股民的钱，可比市场的钱好赚多了！

知乎用户 Gator 发表

最先进的光刻机来涉及到上百家企业的核心技术，现在世界上任何一个国家都不能靠本国企业和技术制造光刻机。

上百家企业的核心技术，如果中国有其中几家，让光刻机离了中国造不了（比如像德国蔡司那样，只有它能制造最先进光刻机的镜片），他们就必须卖光刻机给中国。即使不是在光刻机领域，如果中国有半导体核心领域的关键技术，它们也得卖。

与其在每一个领域都追赶先进技术，不如集中力量争取在几个关键领域形成技术优势，然后和其它国家进行技术交换。

知乎用户 普通人 发表

很遗憾，如果按照当前的实际情况出发，无论多少年之后我国都或将没法完成一台全球领先光刻机的打造（但愿这只是我个人悲观的看法）。并不是时间上的问题，而是核心技术无法获取的痛楚！芯片领域是美国打压我国的主要手段，对于核心技术并不会有一丝一毫的放松，这将进入一个死循环模式（只要我国在光刻机领域有所突破，就会遭到美国不计成本的打压，从而使得光刻机的发展再次陷入低谷）。

即便是全球领先的 ASML 公司，也没有办法凭借一己之力打造出顶端光刻机，而是采取了合作共赢的方式来实现。ASML 公司背后有英特尔、台积电、三星等股东的支持，生产的光刻机不仅有台积电、三星接手，也会受到股东的投资协助。之所以 ASML 公司能够超越尼康、佳能在高端光刻机领域站稳脚跟，主要是其加入了美国的 EUV LLC 组织，从而获得了光刻领域的核心技术。ASML 公司光刻机镜头来自德国蔡司，光源是美国的 Cymer 公司（现被收购），如果没有美国的相关帮助，很难想象 ASML 公司能够得到今天的发展。

我国当前光刻机的生产公司为上海微电子装备公司，该公司当前能够生产最先进的光刻机设备是 SSX600 系列，能够实现 90nm 工艺制程的芯片制造。那么，当前顶级光刻机产品的工艺制程是多少呢？就以华为最新的麒麟 9000 芯片为例，由台积电为其代工，使用的制造工艺为 5nm。由此可见，我国光刻机与顶端光刻机之间存在的差距，现在仅具备中低端光刻机生产的能力。暂且不论生产顶端光刻机中涉及到的技术难题，就连构成光刻机的高端零部件，在美国的打压限制之下，或将都无法正常购得。

美国对于我国芯片领域打压目的十分明显，主要针对于高端领域，中低端几乎采取睁一只眼闭一只眼的态度。上海微电子装备公司生产的光刻机暂且并不在美国的打压范围之列，美国实体名单也并未出现过这家公司。那么，美国当前打压区间究竟在哪里呢？美国限制台积电为华为代工，阻止中芯国际 EUV 光刻机到货便能够看出，主要针对的是 7nm、5nm 工艺制程的高端芯片。中芯国际当前能够实现 14nm 芯片的代工生产，下限区间值应该在此范围。

在光刻机领域，美国已经领先太多，想要在此跑道上超越并不现实！更换跑道，重新起跑也不失为一种较佳的策略。放弃光刻机领域，研发其他方式的芯片生产技术，这或将是反超美国的机会。当然，这同样需要有大量的技术力量积累，也非一朝一夕之功，否则将会弄巧成拙。例如美国 5G 落后，就想跳过 5G 直接研发 6G，最终也只能成为笑柄。

如果执着于光刻机产品，您觉得我国需要多少年才能够打造一台全球先进的光刻机呢？欢迎大家留言讨论。

知乎用户 非樊 发表

能，科研人员不用为买房发愁的时候。

知乎用户 帅大虾 发表

我觉得很难很难，你看看清华北大的人才都流入何方了？

浙江杭州余杭区招聘公示的截图在朋友圈里传播开来：

运河街道办事处录取的是北大新闻传播学硕士

乔司街道办事处录取的是北大软件工程硕士

临平街道办事处录取的是北大中国哲学硕士

东湖街道办事处录取的是北大法律硕士

南苑街道办事处录取的是北大地球物理学博士

仓前街道办事处录取的是清华材料科学与工程硕士

中泰街道办事处录取的是北大法律硕士

五常街道办事处录取的是北大生物学博士

…………

官本位不改，技术人员不受重视，这 2 条不改，大概率希望不大。

知乎用户 匿名用户 发表

1 个 10 年

2 个 10 年

3 个 10 年

4 个 10 年

x 个十年

造光刻机难度可能比造航母难度还要大

不要听自媒体吹牛

在做的有生之年能见到国产 7nm 工艺光刻机都不错了

认清现实

知乎用户 刹那公子 发表

如果光刻机是市场化产品的话，也就是说既要有又要能赚钱的话——不能。

因为当它真真正正是市场化时，确实是造不如买，买不如租。

而当光刻机非市场化时，也就是说当它生生被逼成安全化产品时——能。

而且是必须能。

时间不可测，但不会太久。

毕竟：光刻机是人造的，不是神造的！

老一辈身上这股子气是年轻人应该学的。

知乎用户 小卦限 发表

当然啦。

这里先反对一下各位答主，根据半夜召开的供应商会议，明明前期评估 5nm 光刻机只要两年就能投入量产。

而且各位答主可能孤陋寡闻了，目前的情况基本是战时状态了，已经不是 996 了，新成立的光刻机部门是 24 小时工作，基本工作人员全部吃住在公司，一天工作十八，十九个小时，正在大搞 “松湖会战”，已经全面击破劳动法，取而代之的则是《______法》，大家拭目以待。

朋友圈消息

不保证真实

知乎用户 知乎用户 r78xKw 发表

近期看不到希望，以后未知

知乎用户 科威尔 发表

明年长沙 28 纳米大线测试

知乎用户 迟飞 发表

阿斯麦在荷兰，如果中国宣布对荷兰宣战。朝阿斯麦扔了十枚洲际导弹。将会有怎样的后果？

你不让我用，那么叫你们也用不成。

这未必需要真做出来，但可以武力威胁。阿斯麦乃至欧盟，为什么必须被美国牵着鼻子走呢？那就给它个卖光刻机的理由。让它感到中国跟美国一样，都不好得罪。

再拿出自由贸易的大旗来，人家个荷兰公司，凭什么不能出口中国光刻机？

当然欧洲有个北约，北约本来是对付俄罗斯的。突然中国也成了对手。全是美国的锅。那么西欧国家是否还愿意与美国利益捆绑，遭受无妄之灾呢？其内部必然走向分裂。

也就是敲打荷兰的阿斯麦，来促使美欧离心。本来欧美就互相看不上。

当然所有尖端技术不可能都由中国来做。再下水几艘航母，韩日对中国的态度一定会大有改善。美帝的长臂管辖就将丧失效果，至少在东亚。

知乎用户 心中自有星系海 发表

换个角度来看

光刻机现在人尽皆知，仅仅是因为我们被卡脖子了。这个问题的出现也是顺理成章。

可是，只要突破了光刻机就成功了吗？

内部来说，好多回答提到了房价，人才，薪资等等。

21 世纪最重要的是什么? 人才！请把人才当千里马尊重，而不是当成韭菜羊毛干电池。

外部环境，光刻机能卡你几年，也还有其他的什么机能卡你。就算卡不住了，人家也可以耍流氓。

透过问题看本质，补足短板，尊重人才，内外联动双循环，重视国防，一定可以成功。

雄关漫道真如铁，而今迈步从头越！

知乎用户 大洋百货 发表

需要那么成熟了光刻机吗？需要。但是是那么急的需要吗？不一定，中国在短期内生产出 14nm 左右的光刻机技术，应该可以。这影响的是什么呢？手机的性能（或者说你打王者荣耀快不快吧），国家的军用芯片和 5g 短期内用不到 7nm 甚至 5nm 的芯片，能不能用到 14nm 的芯片也难说。所以光刻机根本没上升到国家意志的角度。说白，网上叫嚣的这些朋友大多是觉得手机性能下降了，自己接收不了，大不了都用些 14nm 的手机呗，价格不也就便宜了么。骚年们，少玩点王者荣耀得了。

知乎用户 沙拉洗了头​ 发表

可能性很大，之前网上传言，2 年 28nm，5 年 14nm，这就足够绝大多数场景了。

知乎用户 金秋黑天鹅 发表

外行吐一吐

半导体是一个产业，既然是个产业，就涉及方方面面，不仅仅是个光刻机的问题，光刻机应该是其中的极为重要的环节。

行业内的人一定清楚，我们自己的半导体产业，差距在哪里，差距有多大。其中，一定会有人才方面的，也有机制方面的，还有基础技术方面的。

半导体产业对于一个国家来说，是必不可少的，重要的基础产业，需要有针对性的各个方面的共同努力，艰苦持久的努力。

不是嘴上说说，说几句大话，喷一喷，就能发展起来的。需要埋头苦干，别再像从前曾有过的 “沽名钓誉” 的事情发生，弄虚作假，骗取国家研发资金。

能不能研发出光刻机，需要多久？问题本身不科学，不严谨。战略上，一定能研发出来！但是，能不能是技术上、经济上都划算的，不一定。至于时间上，科研的问题，讨论多长时间能出来，就属于 “智商” 问题了。

知乎用户 雨霏 发表

我坚信我们可以，但是 2~3 年肯定是无法达到世界第一梯队的。我国半导体产业发展需要的不仅仅是热情，我们要理性看待。

国内最强的光刻机制造商是上海微电子装备公司，目前可以生产 90nm 工艺的光刻机，远远无法和阿斯麦竞争。不过我们也不用过于悲观，上海微电子披露将于 2021-2022 年交付第一台 28nm 工艺国产沉浸式光刻机。同时，中科院院长白春礼表示，在 “率先行动” 计划第二阶段，把美国 “卡脖子”的清单变成我们科研任务清单进行布局（“率先行动”计划第二阶段时间为 2021 年到 2030）。而与此同时，ASML 正在研发新一代 EUV 光刻机 EXE:5000 系列，最快会于 2021 年面世。该光刻机为 3nm 工艺光刻机。如果我们以 3nm 为目标，国内设备商还有很长的路要走，5 年内追上基本不可能。今年 8 月，中科院院士王恩哥在 “信息化百人会 2020 年峰会” 上透露，他将带领团队攻关光刻机核心技术，其研发基地正是东莞松山湖。是否会和华为 共同研发，我猜可能性很大。

除了光刻机，在衬底材料，光刻材料等方面，我国的国产化率也很低。

衬底材料按照发展历程可以分为三代：第一代硅、锗等元素半导体材料；以砷化镓和磷化䂩等化合材料为代表的第二代；以氮化镓和氮化硅等宽禁带半导体材料为代表的第三代。目前全球 95% 以上半导体器件采用硅作为衬底材料。按照尺寸来分，可以分为 300mm（12 英寸）、200mm（8 英寸）以及 150mm（6 英寸）。其中 12 英寸占据市场近 70% 份额，8 英寸占据 20% 以上份额。而我国产品目前主要集中在 6~8 英寸，12 英寸处于起步阶段。目前 12 英寸硅片的国产化率低于 1%，仅上海新昇公司实现了量产。

光刻材料包括光刻胶、光刻胶辅料、光刻胶专用试剂。全球光刻胶市场基本被日本 JSR、东京应化、住友化学、心越化学、美国罗门哈斯等几家公司垄断。国内现在仅北京科华、苏州瑞红能够批量供应非关键层 I 线（365nm 波长，最先进的为 13.5nm 的 EUV）光刻胶。整体上说光刻胶市场被日本、美国公司占据，国产化率低于 1%。光刻胶辅助材料和专用试剂同样是被日本、美国、德国以及我国台湾垄断，国产率低于 1%。

知乎用户 塔斯马尼亚雨林​​ 发表

从 1977 到今天

我们仿佛只多了一堆民营企业，和一群富饶的人民。

技术上，好像进步得不多。

礼毕

知乎用户 十万个为什么鸭 发表

先放结论吧：成熟的光刻机早就有了，但是先进的国产光刻机，没有。所以不存在可能研发成熟光刻机机的问题，只是性能问题。至于研发性能成熟可商用的光刻机要多久，这个只能说无可奉告，这个关于研发的很朴素的问题不好回答，不是你加几个班就能研发出来的。

每次在这种问题下都能看到一些回答下说跟原子弹一样努把力就能研发出来，我只能说先进光刻机即使把图纸给你，你也未必能造出来性能一样的来，因为你精度不够。还拿着当年那种科学家的多付出多，多多献身就能造出原子弹的朴素想法瞎指挥，来研发先进光刻机会直接把项目做死。在这种项目上着急，解决不了任何问题。

天朝在先进光刻机上的差距，不是哪里有短板，是哪里都是短板…. 要突破的地方太多了，基础材料，基础光学，系统设计，系统整合，高精度测量，每一个地方都要突破，还是没办法弯道超车的~~ 要解决只能投入人力，投入时间来弥补~~ 也许是几年，也许是十几年。

据说华为最近也在做光刻机相关人员准备~~

知乎用户 非同凡想 发表

当然有可能，但是这分为你的目标的是超越还是赶上。想达到 5 年前的 28 纳米工艺应该是不难的，但想超越台积电为首的芯片产业，怕是很难。

有这样一家公司，他垄断了全球消费级 CPU 的 70% 市场，它每年的利润高的吓人，它的产品从 15 年前就开始称霸市场，它是全球为数不多自己生产芯片不找别人代工的，然而在 2021 年的今天，依然卡在 14 纳米 +++++++ 工艺，被无数人骂挤牙膏。它就是英特尔。

强如英特尔这样的顶级芯片制造商都难敌台积电甚至三星，是什么让这个问题下的各个答主有那样的自信？连基础的精密制造都还没摸透，就赶着上光刻机项目了？这和你加减乘除都没学会就要奔着上大学学微积分有啥区别？

你问我要多久能研发出来，那要等知乎上不再劝退材料、化学、机械、自动化、光电等等除了计算机之外的所有工科专业，否则永远不可能。有那个功夫我还不如期待中国实现可控核聚变。

知乎用户 陈佳宇 发表

不是能不能，而是必须能，其实这个事情不能完全交给华为去做，毕竟华为只是私企。政府应该牵头，以阿波罗计划般的决心，做成这件事。十年也好，百年也罢，关键时刻被人掣肘的滋味，我们还想要再体验吗？

知乎用户 纸糊 发表

看着最近饶毅举报事件的结果，不乐观。

知乎用户 果藏 201 藏经楼​ 发表

不能也得能。

不逼不知道，一逼吓自己一跳。

各种手段吧，都上了，就很快了。

知乎用户 阿彬 发表

我说说现状吧，中国目前能够生产的光刻机是 90nm 的，其中一部分使用的是国外的设备（在上海），中国目前完全自主的生产的光刻机是 180nm

知乎用户 拉拉路路拉 发表

先问是不是，再问为某事。

中国已经有成熟的光刻机，上海微电子生产的，问题结束。

知乎用户 启缘 发表

一定能，要多久不确定。首先明确一点**，很多人所说的没有一个国家可以单独完成光刻机的制造，这是因为，他们买得到。出于商业考虑，买是他们必然的选择。而中国买不到，自己造也是我们必然的选择。**买得到的情况下，出于成本考虑不会有某个国家去干这样一件事（一己之力完成所有配套），这是出于商业考虑，也是商业驱动的行为。而我国被逼无奈，无法出于商业考虑这件事，我们必须也必然要自己造。

知乎用户 匿名用户 发表

突然发现这题我也会。

举个例子：鸿蒙操作系统。

鸿蒙从提出到实现性能超越安卓 60% 只用了两年时间。

光刻机的话，交给华为只需四年时间，就能超 30% 了吧。

四年刚刚好赶上 2025 的末班车。

知乎用户 仗贱走天涯 发表

已经有成熟的了。如果你要问的是 euv，可能 10 年，也可能 5 年，不会很久。毕竟 asml 已经证明了这玩意可以搞出来，跟随的人只要有足够的钱，剩下的就是如何选择技术路线的问题了。

这玩意很难，需要有数学家，需要有物理学家，需要有化学家，需要有计算机专家，需要有计算机专家，需要机械专家，这些人都还得是跨几个学科的专家，不停的试，不停的错，最后烧大把大把的钱都不一定成功。

知乎用户 风之号角 发表

我只想问一个问题，现在荷兰在生产光刻机（你别管里面多少技术是其他国家的），美国会不会再去开一个同样的光刻机公司来搞死荷兰，德国会不会，法国会不会，日本会不会?

不会，因为正常情况下竞争不过。它们只会在这个基础上开发新的产品，随着技术的提升，现在的光刻机会被替代，就如同苹果替代诺基亚一样。

好了，现在这边不计成本地弄这玩意，是肯定能弄出来的，然后呢，你干死美国了吗，不，你干死了荷兰。

同样的道理，在其他很多的领域，你干死的也不是美国，而是欧洲和日本。

原因就不多说了，现象就是这个。

准备 “寒战” 吧。

知乎用户 雨夜稻草人 发表

光刻机就是个产业链问题，整个链上，国内缺失太多。达不到高端水准。这个东西不是砸点钱就能缩短周期的，所以国家也就只能保证自己军化的次级需求，民用根本上无法干预。看着这几年的教育改革，也有推行制造业的意愿，可是国内行业发展，还是取决于行业收入，这个才是根本问题，如果一个学制造业的人才培养出来，他发现，步入社会做个销售能拿好几倍自己专业的工资，他还会从业吗？再谈谈这个事情的本质，行业工资，主要还是看行业效益，国内芯片行业跟民用应用行业脱节有点严重，这个收入很难超过，除非国家养着，而国家在政策上还是扶持为主，主要投入还是经济建设和基础设施。所以综上所述芯片将是个很漫长的过程，从国家层面来说用国家整体发展换一个不知道投入多久能看到成效的芯片，很不划算

知乎用户 莫比乌斯星球 发表

上海微电子是有成熟的光刻机的，只是制程上差了点，要追上 ASML 目前看短期很难。

当然知乎上可能很多人都想着 1 年，3 年，5 年内尽快追上，但是好像看起来没那么简单。

很多技术必须从基础做起，个人觉得不乐观，看看有没有其他的创新吧。如果还得从基础上做起，技术太多了，估计得一代人吧。

是不是又回到技工贸和贸工技之争了？几十年也很快了。

知乎用户 dummeskind 发表

想急也急不来啊，中国最聪明的那几十万特等级脑袋都被美国人笼络去替人作嫁衣裳了，留在国内的说句得罪人的话都是打八折至多八五折的一级甚至二三级脑袋，当然干什么都要慢一些啦，尤其还是这种开拓性前瞻性的筚路蓝缕之作，指望他们能像钱学森、邓稼先、于敏、王选、倪光南、陈景润、屠呦呦、钟南山等人那么牛气冲天神作连连还真是赶鸭子上架勉为其难之举啊，所以只能慢工出细活了，急不得啊！

知乎用户 天涯独步轮回 发表

我看好中国能做出来，但绝不是三年五年的事情，要做出当前世界的先进水平，请在三年五年后面加个 “十”，或者乘个倍数，比如 “5”？

反对乐观的营销号，反对悲观者，中国需要沉淀，需要积累，这种底层的基础东西，需要更多的资金和不懈的投入，需要更多的高薪人才，需要长时间的投入和关注，弯道超车只会让脖子越来越长，卡的越来越死

知乎用户 无聊的哲人​ 发表

绝对能，毫无疑问的。

反正搞研发又不是知乎众，而那些逃兵，又没有为之努力过。

知乎用户 scl​ 发表

如果不换个思路发展，很难很难。

1、光刻机很多涉及材料技术上的难题，镀膜等工艺问题，我们还差很远。

2、在零部件的加工上，武器级的加工设备对中国也是禁运的。没有这个我们也很难做这种高精尖的产品。

3、在精密仪器方面，除了技术方面的困难以外。还包括精密仪器的组装，和精密仪器的使用。

说实话，我们差太远了。这种人才储备不是五年，十年的问题，可能是 50 年到 100 年的问题。

所以，如果走老路，我们基本没有什么希望。只能看看在其他非常规新材料领域，我们有没有可能弯道超车吧。

知乎用户 wim​ 发表

中国的问题是人工成本极低，相同的工作不重要的白领在中国工资反而高，为国外的二分之一或三分之一的工资。重要的蓝领工资是国外同水平的八分之一到五分之一。然后日常消费资料生活成本中国其实跟国外持平的或更高的（同质相比）。所以中国人真的是只是糊口。这个水平的待遇有这能力为啥要拼命搞顶尖科技？就算是搞出来了跟你有什么关系。不夸张的说中国现在是历史上最不重视技术的年代，手艺人横向比不过清朝。因为规模效应根本不需要普通人有顶尖的能力。

知乎用户 一阵风 发表

中国这些口水军已经淘汰了需要光刻机了，但是一颗这些口水生产出来的芯片都看不见。除了安慰自己外就没有别的作用！！！

知乎用户 懵懵懂懂 发表

有原子弹复杂吗，原子弹都能造出来，你觉得光刻机能阻挡种花家前进的步伐吗！

知乎用户 会飞的小蚯蚓​ 发表

刚开始呢，国外光刻机不能用了，美分红知香蕉人占领舆论高地了。

现在呢，中科院下军令状要自研了，舆论为什么反转呢？答案就是国家有充分的信心和把握造出来，甚至已经造出来自研高标准光刻机了。所以引导舆论，避免国人自信心被无妄打击。

知乎用户 glq​ 发表

中国太大了，人口太多了，实现市场经济下的充分就业，就必须有一大半从事所谓低端制造业，和全世界穷人去抢工作，工资肯定高不上去。不做适当安排的话，高端人才很难待的下去。美国穷人一个世界，富人另一个世界，tg 显然不乐意也看不上这种模式。难是真难，何况现在赢者通吃，国内这么大的市场，社交也只能是腾讯的，全世界这么多电脑操作系统只有 windows。

知乎用户 清纯小浪女 发表

能。

但有个很大的问题，成熟不成熟不是光刻机研发单位自己的事，很大程度需要芯片制造厂商工艺配合。

知乎用户 知乎用户 BAd7GL​ 发表

光刻机 EDA matlab 这些都是结果，反映的是中国整个科研体系的落后和之前国家对此的不重视。

中国的大学没有承担起这份责任，为什么没有？是整个制度的问题，评价制度和管理制度。

今天举全民之力搞出光刻机，后面还有其它的等着。而且一个国家的实力是有限度的，全部搞独立自主就是逆历史潮流，我们要做的是参与并成为其中不可或缺的一环。

今天很多研究人员，做自然科学，基础科学的，你不能说十几年几十年没出你能看到的成果，就说人家没用，人类选择了一条路，可同辈人做出了无数尝试才选择了这条路。

知乎用户 xnmbyy 发表

第一次写回答，发现学生党和半瓶水较多

这么说吧，做过技术和工程的人，不论什么行业，做久了都知道一点，专业技术应用和专利，真的只是一层窗户纸，窗户纸是白色的，你不捅破，永远无法看清楚里面藏的是什么。

中科院和国家队或者私人企业突破技术封锁，这个就是个时间问题，难的只是芯片产业的生态如何快速搭建，产业链如何整合，国家队在里面玩？竞争力到底能有多强？不能固步自封，华为的做法是对的，从来不拒绝和最先进的公司或者国家合作，这才是快速进步的关键。

说个题外话，光刻机不是所有的零配件是用的美国技术，其他国家的技术也在用，欧洲的绝对不少，中国会合作吗？

知乎用户 测试凯哥​​ 发表

成熟的光刻机中国没有么？这个答案当然是否定的，上海微电子就是干这个的，而且在世界上也是有市场份额的，并且已经更新了几代了。怎么就是没有呢？怎么能说不成熟呢？

可能题主和其他网友可能就要说：不够先进，市场份额太小，等等。

可是这个问题也不是说研发出先进的光刻机啊！

有没有和先进不先进是两码事儿！

还有就是，手机领域的 CPU 芯片制程，可也代表不了整个芯片制造行业！

知乎用户 努力做废物 发表

要不是没有技术 就不会在众目睽睽下去荷兰进口光刻机 虽然最后也没能成功（美国的阻挠）

为什么会进口荷兰的光刻机而美国德国这样的发达国家却没有？参考这片文章

荷兰进口光刻机 - 搜索结果 - 知乎

十六世纪时荷兰就开始了光学的研究

而我们在这方面还没有开始

现在想要一蹴而就

几乎是不可能的

我们的芯片产业还处于新兴产业

外国就已经是夕阳产业了

所以

至少目前十年中国是不可能研发出成熟的光刻机的

我们还是上升期

许多的装备都还需要依靠进口

在没有完整的产业链系统成熟之前

我们研发的光刻机的可能性就越小

知乎用户 影尘 c 发表

从普通人的角度，我认为可能研发出。时间不清楚，但应该不会比北斗卫星导航系统久。

原因一，光刻机也是人发明的，咱们不缺人，只缺人才，人才是可以培养的。我向来相信我们从不缺拥有大智慧大毅力的人。

原因二，目前国际形势对中国不是很友好，芯片制造尤其被他国狙击，我认为这是一个风口，短期的劣势反会倒逼我们技术升级。

比较粗浅简单的想法。

知乎用户 猴哈腰斯基 发表

上海微电子 18 年申请的外观设计专利 “光刻机（ssb800）”，19 年已经授权。说明上海微电子确实在研发 90nm 以下的设备。但是何时投入使用并不清楚。中国研发光刻机并不是市场行为，而是在国际制裁和封锁下的自保行为，如果以外国的标准是研发不出来的。正是因为是自保行为，涉及国家经济安全，所以不计成本才可能研发出来。而且并不是要研发出最先进的技术，够用即可，只要能够生产中档设备即可，并不追求顶尖水平，当然那也是实现不了的。能不能实现就看明年了

知乎用户 Cloudz Dong 发表

光刻机国内一直在研发，军工在 100nm 左右已经实现自主，但是世界顶尖光刻机还是望尘莫及，但是不光中国不行，美国也不可能，我们当前的方向不是完全自主，形成闭环，而是要能够成为整个产业不可或缺的一环，提供独一无二的技术支持。

知乎用户 钮铫 发表

当年还是电子管的时候能想到芯片这种玩意吗？所以，现在想毛个光刻机，要去想下一代是什么玩意。

知乎用户 投降输一半 发表

什么你的我的？等地球统一了，就都是我兔的。

知乎用户 绮罗霞浦 发表

等你上大学学材料系，然后带领我们光刻机走向世界第一，高科技可不是打打口号，一拍脑门就成的事

知乎用户 柴腾 发表

光刻机能造啊，只不过落后十五年而已。

知乎用户 Wang Kismet​​ 发表

可以

原子弹，氢弹，航母，四代机，北斗，高铁，特高压，5G，天宫一号。。。。。。

历史证明，对中国封锁是没用的，总会发展起来，不过早晚。

具体多久，要看我国有多大决心

多大决心，要看封锁多狠

最怕的是他们忽悠你不要造，要买

正如国内工业软件，芯片等的发展。

所以，不要怕封锁，不过几年，最多不过一二十年困难日子，

而已

知乎用户 笑谈古今 发表

光刻机我们已经有了，据说，明年 28nm 制程的就能下线，虽然档次与 ASML 比低一些。私以为高端（生产 5-7nm）光刻机，十年时间基本能掌握。

估计，在三五年之后，美国会放松高端光刻机对中国的封锁，不为别的，就为打压中国的光刻机产业，如果让中国自己攻克了，那么 ASML 就成白菜价了，毕竟世界光刻机的市场并不大。

知乎用户 雷大哥家的 发表

其实吧，研发光刻机并不那么难。说光刻机多么高大上，多么难的，都属于有意无意地往沟里带。我有把握地透露一点，大家别急。国内大牛们得到了最大力度的资本支持和高层给予的政策扶持。也不断地用最先进的革命思想和理论来武装和提高。大家等着好消息吧！

知乎用户 斩虎 发表

光刻机，我们早晚有一天会有！

而美国，永远酿不出正宗的茅台！

知乎用户 刘一迈​ 发表

世纪上只要工业制造类的东西，中国面临的问题不是造不造得出来，而是造的东西好不好！

往前看二十年，有很多当时国外造的好中国造的不好的东西，导致人们只信任进口品牌，这个情况在工业领域特别明显.

但是一旦面临政治压力，在的不好也得用的情况出现后，那肯定是能造出来的！

至于好不好，是跟用的多不多成正比的，造的多了用的多了自然就好了！

知乎用户 道听青年 发表

能，肯定能。

但是时间多久，不好预测。

光刻机的难点在于光源的获取。

纯净的光源，

是可控波长的光源。

获取光源，就涉及到光源的产生，光源反射，光源过滤，光源控制。

这些过程需要精细化设备，是整个行业的进步，而不是一两家进步就可以的，比如说光靠华为。

华为很优秀，但是也很难。

荷兰 ASML 光刻机是全世界最高技术的集合。光靠 ASML 也是做不到的。

但愿，大基金写一波扶持能够推动这个行业更实际地将技术落地，而不仅仅是为了获得大基金的投资。

知乎用户 一只鸟 发表

1. 中国有成熟的光刻机；
2. 中国缺的是最先进的光刻机；

就这样，问题问错了

知乎用户 知乎用户 W9QAIj 发表

重点不在技术，重点在供应链和市场。

知乎用户 明通端悫 发表

光刻机关不过

芯片加工关不过

就没有 2025 智造中国

知乎用户 azkbs 发表

意识形态不同，导致和资本主义贸易体系不兼容，你我他都在发展，等你造出来，谁会用你的东西，时间也是有价值的，这个不是造东西的问题。

知乎用户 胖但也不是辣么胖 发表

能，但是恐怕要很久

研发光刻机本身不是无法逾越的难关，毕竟技术路线老外已经给摸出来了，无非是你条宽和人家比差多少的问题，先解决有没有，再解决好不好。

但题目里问的是 “成熟” 的光刻机

何谓成熟，你要能拿到市场上和 ASML、NIKON 竞争，而且能占据一定的市场份额，这才叫成熟

我们自研的光刻机，连 “有没有” 的问题还没有解决好，而 “有没有” 和“好不好”之间还有巨大的差距

我不是搞工艺或者设备的，只能以以前在工厂的经验来讲，06 年我进厂时，厂里用的还是 80 年代初美国人在用的 UT 光刻机，机器跟我年纪差不多，这种机器 90 年代初就落伍了，被卖给了中国工厂。然而到现在，2020 年，这些 UT 光刻机还在用，坏一台少一台（备件买不到了），但我们到现在也没有国产机器可以替代这些服役了近 40 年的老古董。

我绝对相信我们可以集中国家力量来解决光刻机自产的问题，如果被美国封锁光刻机技术，我们至少可以有机器可以顶上。这个事情 2-3 年内应会有结果。

但技术迭代是否可以通过 “集中力量办大事” 的方式来提高速度，甚至实现跨越式发展，我没有太大信心。

知乎用户 蔡小帅 发表

说个题外话，国家 02 专项已经攻克了多项极紫外光刻机关键技术，虽然离真正的商业化还有一段距离，但是国产 EUV 光刻机真的不远了。一个重要时间节点：2025。

避免防杠，我简单举几个例子：

EUV 极紫外光源（中科院长春光机所）

EUV 光刻胶（中国科学院化学研究所、中国科学院理化技术研究所、北京科华微电子材料有限公司联合承担）

高 NA 浸没光学系统（长春国科精密光学）

光刻机双工件台系统（清华大学、华卓精科）

区熔硅单晶片产业化技术（中环股份）

知乎用户 火枫林 发表

要 7nm 的，没有

退一步，14nm 的，能产

再退一步，28nm 的，有点贵

再再再退一步，45nm 的，想要多少有多少

就目前来看，国防工业早就已经满足了，而如果我没记错的话，神威太湖之光还在用 64nm 的上古制程。。。。。

个人的话，对我来说也够用了，毕竟我对手机处理器没多大要求，如果不需要拍照扫码连摄像头都能省，游戏也不打。。。。

笔记本我高强度使用也不算很多，大多数高强度计算都是丢给台机做的

台机啊。。。怼核心多 CPU 上暴力扇暴力水冷完事，实在不行搞个液浸式机箱？

反正感觉完全没有这个需求

知乎用户 nullptr​ 发表

技术上是相当有挑战性的，但是我们毕竟人多，能人也多，组织攻关起来，其实是有非常大希望的，也包括了光刻胶等材料的研发，EDA 软件也是同理。

主要这些年，算力、设备、经验等等，都是有一点积累的，不像原子弹那时候，那真的是真从零开始。

专利什么的，既然你都封锁我了，不让我活，我管你专利干嘛？或者研发出对应的技术，想办法扯皮嘛，而且这东西，我有本事搞出来了，我相信找个办法规避一下的难度是低于研发的难度的。

最难的还是怎么组织起来人，怎么给参与人员充足的正反馈，怎么能让他们心无旁骛的研发，怎么能让行政外行不当爹，这些不是实打实的技术问题，但我认为这真的是比技术还高的高墙。

知乎用户 TSunamilluminata 发表

成熟？除了移动设备，真正成熟的 28nm 工艺甚至军工芯片常用的 90nm 上并不存在中国人造不出的 “人类科技皇冠上的明珠”

asml 十八年前还是对外营销号称自己是飞利浦的弟中弟

如果尖端光刻机和高制程工艺被真正的卡死，中国在这里的突破速度绝对令人期待

但是，号称假意制裁，实则自己带货，加上内部渲染 “光刻机乃当代核武器” 云云借此里应外合实际上来割韭菜，那么真正技术突破可能就难了，钱肯定没少花

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